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PIglide AT3 Linearversteller mit Luftlager HOCHLEISTUNGS- NANOPOSITIONIERTISCH A-123 Ideal für Scan- Anwendungen oder Positionieren mit hoher Präzision Reinraumtauglich Kundenspezifische Anpassungen möglich Größe der bewegten Plattform 210 mm × 210 mm Stellwege 50 mm bis 750 mm Die PIglide Versteller- Serie verfügt über einen Servo- Linearmotorantrieb mit vorgespannten Luftlagern und integriertem optischen Linearencoder. Die Kombination dieser berührungslosen Baugruppen ergibt eine reibungslose bewegte Plattform, die die höchste Leistung, Qualität und Lebensdauer bietet. Diese Versteller sind ideal geeignet für viele hochpräzise Anwendungen wie Metrologie, Faserpositioniersysteme, Halbleiter- und Flachbildschirminspektion, Laserbearbeitung und Präzisionsscannen. Der berührungslose Aufbau der Versteller ist auch ideal für Anwendungen im Reinraum. Ein Hochleistungslinearmotor kann den Tisch zur Höchstgeschwindigkeit innerhalb weniger Millisekunden fahren und die hohe Tragfähigkeit ermöglicht Nutzlasten bis zu 35 kg. Die lateral entgegengesetzte aktiv vorgespannte und luftgelagerte Konstruktion ermöglicht eine Montage in jeder beliebigen Orientierung. Mehrere Encoderoptionen Luftregler- und Filtermodule Ein- oder mehrachsige Motion Controller und Servoantriebe XY- Stapel und kundenspezifische Konfigurationen mit präzisem Ausrichten Schleppkettenvarianten Gegengewichtoptionen für vertikale (Z) Orientierung Kundenspezifische Anpassungen verfügbar Granitunterbauten und Schwingungsisolierungssysteme © Physik Instrumente (PI) GmbH und Co. KG 2014. Änderungen vorbehalten. Die aktuelle Revision ist zu finden unt

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Spezifikationen Genauigkeit Genauigkeit Stellweg (nicht kompensiert) Neigen & VerstellerGieren TIR masse (5) Bürstenloser Servo- Linearmotor, eisenlos, 3 Phasen Berührungslos optischer Linearencoder mit Stellwegsgrenzen und Home- Index Motor- Busspannung Motor- Kraftkonstante Motorwiderstand (Phase zu Phase) Motorinduktivität (Phase zu Phase) Maximale Geschwindigkeit Maximale Beschleunigung (1) (unbelastet) Maximale Nutzlast Bewegte Masse Extern, bewegtes Kabel Rein (gefiltert bis 1,0 µm oder besser) – ISO 8573-1 Klasse 1; Ölfrei – ISO 8573-1 Klasse 1; Trocken (-15 °C Taupunkt) – SO 8573-1...

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Bestellinformation A-123.050A1 PIglide AT3 Motorisierter Linearversteller mit Luftlagermodul, Stellweg 50 mm, Direkte Positionsmessung mit inkrementellem Encoder (20 μm Messgitterabstand, Sinus (1 Vpp) Ausgang), Motor- Bus 48 VDC A-123.050B1 PIglide AT3 Motorisierter Linearversteller mit Luftlagermodul, Stellweg 50 mm, Absolutencoder (1 nm Auflösung, BiSS- C Serieller Ausgang), Motor- Bus 48 VDC A-123.100A1 PIglide AT3 Motorisierter Linearversteller mit Luftlagermodul, Stellweg 100 mm, Direkte Positionsmessung mit inkrementellem Encoder (20 μm Messgitterabstand, Sinus (1 Vpp) Ausgang),...

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Zeichnungen / Bilder © Physik Instrumente (PI) GmbH und Co. KG 2014. Änderungen vorbehalten. Die aktuelle Revision ist zu finden unter www.pi.de

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A = 20um grating pitch incremental, /lotor Wiring © Physik Instrumente (PI) GmbH und Co. KG 2014. Änderungen vorbehalten. Die aktuelle Revision ist zu finden unter www.pi.de

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