PIglide HS Planarscanner mit Luftlager XY POSITIONIERSYSTEM MIT 1 NM AUFLÖSUNG A-322 Anforderungsspezifische Anpassungen möglich Stellwege bis 500 mm x 1000 mm Belastbarkeit 15 kg Auflösung bis 1 nm Geschwindigkeit bis 1 m/ s, Beschleunigung bis 1g Geradheit / Ebenheit bis 0,25 µm Aktive Führungsfehlerkompensation Reinraumkomaptibel Der PIglide HS Planarscanner mit Luftlager wurde ausgelegt, um sowohl die Durchsatzrate zu maximieren als auch die höchste Präzision zu gewährleisten. Dieser Versteller ist ideal für Anwendungen mit hochpräzisen Anforderungen an Bewegung und Positionierung wie in Inspektionssystemen für Halbleiter- Wafer oder Flachbildschirme. Die Ankopplung der oberen Achse zur Achse über Festkörpergelenke ermöglicht eine laterale Entkopplung ohne auf die Gesamtsteifigkeit des Systems zu verzichten. Eisenlose Linearmotoren bieten einen gleichmäßigen Lauf ohne Cogging oder Anzugskräfte. Der PIglide HS ist mit drei hochgenauen Linearencodern ausgestattet, einer für die untere und zwei für die obere Achse. Wahlweise stehen hierfür inkrementelle oder Absoluteencoder zu Verfügung. Der PIglide HS wird mit Digitalcontrollern führender Hersteller betrieben, die hervorragende Servo- Update- Raten (bis zu 5 kHz), fortschrittliche Regelalgorithmen zur Verbesserung der Dynamik und Führungsfehlerkompensation sowie eine große Auswahl an Werkzeugen für die Softwareentwicklung bieten. © Physik Instrumente (PI) GmbH und Co. KG 2014. Änderungen vorbehalten. Die aktuelle Revision ist zu finden u

Spezifikationen Vorläufige Daten A-322 X- Achse (obere Achse) A-322 Y- Achse (untere Achse) Einheit Toleranz Integrierter Sensor Optischer Linearencoder Optischer Linearencoder Bidirektionale Wiederholgenauigkeit Geradheit / Ebenheit < 0,1 µm je 25 mm Stellweg, < ±1 über den gesamten Stellweg < 0,1 µm je 25 mm Stellweg, < ±1 über den gesamten Stellweg 150 ms bei 10 mm Schrittweite auf ±0,1 µm genau 190 ms bei 20 mm Schrittweite auf ±0,1 µm genau 262 ms bei 50 mm Schrittweite auf ±0,1 µm genau Mechanische Eigenschaften Masse Bewegte Masse Rein (gefiltert bis 1,0 µm oder besser), ölfrei, trocken...

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