PIglide RLA Rotationstisch mit Luftlager, große Apertur Reibungsfrei, motorisiert A-68x  Durchmesser Bewegungsplattform 365 mm, Durchmesser Apertur 260 mm  Niedrige Bauhöhe  Exzentrizität und Ebenheit < 300 nm Die direktangetriebenen Rotationstische der PIglide RLA-Serie sind für höchste Präzision ausgelegt. Sie haben eine flache Bauform und eine große freie Apertur. Die RLA-Tische bieten eine überragende Leistung bei Ablaufgenauigkeit, Ebenheit und Taumeln.  Bürstenlos  Geringes Rastmoment Absolutencoder (optional) Absolutencoder liefern eindeutige Lageinformationen, die eine sofortige Feststellung der Position ermöglichen. Somit ist keine Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden. Inkrementeller oder absoluter Encoder PIglide Filter und Druckregler Ein- oder mehrachsige Motion Controller und Servoantriebe Mehrachs-/ kundenspezifische Aufbauten Grundplatten aus Granit und Systeme zur Vibrationsminderung Tomografie, Beamline-Systeme, Wafermetrologie, Waferinspektion, Messtechnik, Inspektionssysteme, Kalibrierung, Scannen. Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Tische ideal unter Reinraumbedingungen eingese

Spezifikationen Bewegen Durchmesser Bewegungsplattform Bewegte Masse Widerstand Phase-Phase Induktivität Phase-Phase Gegen-EMK Phase-Phase Integrierter Sensor Inkrementelles Winkelmesssystem Absolutes Winkelmesssystem Exzentrizität Ebenheit Taumeln Mechanische Eigenschaften Belastbarkeit, axial Belastbarkeit, radial Lastmoment, MX,Y Bidirektionale Wiederholgenauigkeit 1 / Umdrehung, Differenzialpuls über eine Sensorsignalperiode, 1 V Spitze-Spitze

Anschlüsse und Umgebung Betriebsdruck Rein (gefiltert bis zu 1,0 μm oder besser) - ISO 8573-1 Klasse 1 Ölfrei - ISO 8573-1 Klasse 1 Trocken (-15 °C Taupunkt) - ISO 8573-1 Klasse 3 Hartbeschichtetes Aluminium, Befestigungsmaterial aus Edelstahl Abhängig von der Qualität des Untergrundes, der Nutzlast, der Orientierung und Kräften, die von außen auf den Tisch wirken. Bitte kontaktieren Sie PI für applikationsspezifische Parameter. Angegebene Werte sind statisch (keine Rotationsbewegung während der Messung) und ohne Last. (2) Die aufgeführten Werte setzen eine Luftversorgung mit 550 kPa (80 psi)...

PIglide RLA Rotationstisch, Luftlager, 365 mm Durchmesser Bewegungsplattform, 260 mm Durchmesser Apertur, niedrige Bauhöhe, inkrementelles Winkelmesssystem mit sin/cos-Signalübertragung, bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor PIglide RLA Rotationstisch, Luftlager, 365 mm Durchmesser Bewegungsplattform, 260 mm Durchmesser Apertur, niedrige Bauhöhe, absolutes Winkelmesssystem mit BiSS-C-Signalübertragung, bürstenloser 3-Phasen-Torquemotor