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Piezo-Hub- und Kipptisch Hochdynamisch, mit großer Apertur P-518 • P-528 • P-558  Hub- und Kipptische mit 3 Achsen / Hubtische mit 1 Achse  Hub- / Kippwinkel bis 200 µm / 2 mrad geregelt (bis 240 µm / 2,4 mrad ungeregelt)  Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik  Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen  Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren  Freie Apertur 66 mm × 66 mm  Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren Einsatzgebiete Messtechnik Interferometrie Photonik / integrierte Optik Lithografie Nanopositionierung Scanning-Mikroskopie Probenausrichtung Mikrobearbeitung Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen. Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich. Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglic

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Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch Mechanik und Controller können beliebig kombiniert und schnell ausgetauscht werden. Alle Servo- und Linearisierungsparameter sind im ID-Chip des D-Sub-Steckers der Mechanik gespeichert. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch bei jedem Einschalten des Controllers. Hohe Bahntreue im Nanometerbereich durch parallele Positionsmessung Alle Freiheitsgrade werden gegen eine einzige feste Referenz vermessen. Ungewolltes Übersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann in Echtzeit (abh....

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Elektrische Kapazität Sensor- / Spannungsanschluss Empfohlene Elektroniken * Bei horizontaler Einbaulage (auf Oberfläche stehend, nicht hängend). Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten. Alle Angaben beziehen sich auf Raumtemperatur (22 °C ±3 °C). Son

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Zeichnungen / Bilder

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Bestellinformationen P-558.ZCD Präziser Nanopositionier-Hubtisch, 50 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker P-558.ZCL Präziser Nanopositionier-Hubtisch, 50 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker P-518.ZCD Präziser Nanopositionier-Hubtisch, 100 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

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P-518.ZCL Präziser Nanopositionier-Hubtisch, 100 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker P-528.ZCD Präziser Nanopositionier-Hubtisch, 200 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker P-528.ZCL Präziser Nanopositionier-Hubtisch, 200 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker P-558.TCD Präziser Nanopositionier-Hub- und Kipptisch, 50 µm, 0,6 mrad, Parallelmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker P-518.TCD Präziser Nanopositionier-Hub- und Kipptisch, 100 µm, 1,4 mrad, Parallelmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker...

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