Linearversteller der Referenzklasse Linearversteller mit magnetischen Direktantrieben verzichten weitgehend auf mechanische Komponenten im Antriebsstrang, die Antriebskraft wirkt direkt auf die bewegte Plattform. Zusammen mit den Präzisionsla‐ gern werden eine hohe Ablaufgenauigkeit und lange Lebensdauer erreicht. Die Linearversteller eignen sich damit besonders gut für Scanning‐Anwendungen. PIMag® Voice‐Coil Voice‐Coil‐Antriebe bestehen aus 2 wesentlichen Komponenten: einem Dauermagneten und einer Spule, die sich im Luftspalt des Magnetfeldes befindet. Fließt ein Strom durch die Spule, so bewegt sich die Spule im Magnetfeld des Dauermagneten. Die Bewegungsrichtung ist abhängig von der Polarität. Voice‐Coil‐Antriebe eignen sich durch ihr geringes Gewicht und das reibungsfreie Antriebsprinzip sehr gut für Anwendungen, die hohe Dynamik und hohe Geschwindigkeiten bei begrenzten Stellwegen erfordern. Hohe Scanfrequenzen und präzise Positionierung sind mit diesen Antrieben ebenfalls möglich, da sie frei von Hystereseeffekten sind. Kreuzrollenlager Bei Kreuzrollenlagern wird der Punktkontakt der Kugeln in Kugellagern durch den Linienkontakt gehärteter Rollen ersetzt. Sie sind dadurch wesentlich steifer und kommen mit geringerer Vorspannung aus, was die Reibung reduziert

Direkte Positionsmessung mit inkrementellem Encoder Kontaktlose optische Encoder messen die Ist‐Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Bewegungs‐ plattform, so dass Nichtlinearität, mechanisches Spiel oder elastische Deformation keinen Einfluss auf die Positionsmessung haben. Einsatzgebiete Industrie und Forschung. Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter‐ oder Flachbild‐ schirm‐Herstellung Spezifikationen Bewegung und Posi‐ tionieren Aktive Achsen Stellweg Integrierter Sensor

Mechanische Eigen‐ schaften Belastbarkeit in z Antriebseigenschaf‐ ten Antriebstyp Betriebstemperatur‐ bereich Relative Luftfeuchtig‐ keit w

20 nm-Schritte führt der V-522 zuverlässig und wiederholbar aus.