Der optische Sensor CHRocodile IT DTW arbeitet mit Infrarotlicht und wurde speziell für die berührungslose Dickenmessung dünner Wafer optimiert. Weitere Anwendungsbereiche sind die Dickenmessung von visuell opaken, wie auch transparenten Kunststofffolien. Das interferometrische Messverfahren ermöglicht eine hochaufgelöste und robuste Messung von einer Seite. Die außergewöhnlich hohe Dynamik und das ausgezeichnete Signal/Rauschverhältnis der CHRocodile Sensoren sorgen für beste Messergebnisse. Zwei eingebaute Lichtquellen, zwischen denen bei Ausfall einer Lampe automatisch umgeschaltet wird, ermöglichen einen unterbrechungsfreien Betrieb. ■ Transparente und opake Materialien ■ Messung von einer Seite ■ Hohe laterale Auflösung BENUTZERFREUNDLICH & SICHER ■ Redundant ausgelegte Lichtquellen PRÄZISE SCHI PRECITEC OPTRONIK THE SMART WAY TO MEASURE

TECHNISCHE ANGABEN ZUM CHROCODILE IT DTW Messgröße Schichtdicke Messungen / Sekunde Interferometrischer Messbereich 1) 4 µm - 200 µm < 10 -3 Steigungsfehler 2) < 3,3 x 10 Linearitätsabweichung 2) -4 x obere Messbereichsgrenze Auflösung Reproduzierbarkeit 3 x 10 -6 x Messbereich; höhere Auflösung auf Anfrage 10 -4 x obere Messbereichsgrenze 1 Anzahl der Messkanäle Synchronisierung mit externen Geräten Triggereingang, Synchronisationsausgang USB: virtual comport (921600 Baud) Optische Weglänge in Luft; in Silizium 1 μm - 55 μm | Messgenauigkeit = Linearitätsabweichung + (Steigungsfehler x Messwert)...