Optische Messköpfe

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Optische Messköpfe

Zusammenfassung des Produktkatalogs

Einleitung: Der technische Bericht beschreibt die Spezifikationen und Anwendungen der optischen Messköpfe der CHRocodile-Serie von Precitec Optronik. Diese Messköpfe sind für die berührungslose Messung von Abständen und Schichtdicken konzipiert und bieten eine hohe axiale Auflösung.

Hauptanwendungen: Die Messköpfe werden zur Messung von Schichtdicken und Distanzen eingesetzt. Sie sind besonders geeignet für Oberflächen mit unterschiedlichen Reflektionseigenschaften, spiegelnde und streuende Oberflächen.

Messverfahren: Die Messungen erfolgen interferometrisch oder chromatisch konfokal, abhängig von der verwendeten Auswerteeinheit.

Technische Spezifikationen:

Messabstand: Variiert je nach Modell zwischen 1,4 mm und 110 mm.
Auflösung in Z: Reicht von 3 nm bis 1,2 µm, abhängig vom Modell.
Messfleckdurchmesser: Zwischen 9 µm und 50 µm.
Laterale Auflösung: Zwischen 0,7 µm und 25 µm.
Numerische Apertur: Reicht von 0,045 bis 0,7.
Messwinkel zur Oberfläche: 90° mit einer Toleranz von +/- 2° bis +/- 45°.

Besondere Merkmale: Die Messköpfe zeichnen sich durch eine robuste und kompakte Bauweise aus und sind auch als Vakuumversion verfügbar. Sie bieten zuverlässige und schnelle Messungen auf anspruchsvollen Messproben.

Bemerkungen: Die Messköpfe sind in verschiedenen Ausführungen erhältlich, einige mit hoher numerischer Apertur oder besonders kompakter Bauweise. Bei der Verwendung eines LED-Gerätes kann sich der Messbereich um bis zu 10% verringern.

Fazit: Die CHRocodile-Messköpfe bieten eine Vielzahl von Vorteilen für präzise Messungen in unterschiedlichen Anwendungen und sind für jede Applikation der perfekte Messkopf.

Katalogauszüge

OPTISCHE MESSKÖPFE AUSWERTEEINHEIT Die angegebenen Daten wurden für einen typischen Anwendungsfall generiert und können beim Vorliegen anderer Gegebenheiten abweichen. Des Weiteren können Druckfehler, Änderungen und/oder Neuerungen zu Abweichungen von den hier angegebenen Maßen, technischen Daten und Funktionen führen. Aus diesem Grund sind sämtliche Angaben unverbindlich und technische Daten, Maße sowie Funktionen werden durch Angaben in dieser Produktinformation nicht zugesichert. AUG 2017 1 Unterkante Messkopf bis Mitte Messbereich 2) abnehmende Genauigkeit zu den Grenzwerten PRECITEC OPTRONIK THE SMART WAY TO MEASURE PRECITEC OPTRONIK | Internet: www.precitec-optronik.com | www.chrocodile.com

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Die Messköpfe zur berührungslosen Abstands- und Schichtdickenmessung sind mit Messbereichen von wenigen Mikrometern bis hin zu mehreren Millimetern verfügbar. SIE ZEICHNEN SICH DURCH VIELE VORTEILE AUS: ■ oberflächenunabhängiges Messen ■ hohe axiale Auflösung zur Messung kleinster Strukturen ■ messen auch auf stark geneigten, spiegelnden und streuenden Oberflächen ■ kleiner Messfleckdurchmesser ■ robuste und kompakte Bauweise Alle optischen Messköpfe sind auch als Vakuumversion verfügbar. Das heißt: Für jede Applikation der perfekte Messkopf! ZUVERLÄSSIGE, SCHNELLE MESSUNGEN AUF ANSPRUCHSVOLLEN...

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