Topografien schneller messen - mit dem Chrocodile CLS Liniensensor
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TOPOGRAFIEN SCHNELLER MESSEN – MIT DEM LINIENSENSOR CHROCODILE CLS Strukturen auf einem Halbleiterwafer Bild: © Precitec Optronik War man es bisher gewöhnt, dass chromatisch-konfokale Sensoren von Precitec Optronik punktuell maßen, mit der Messpunktgröße (der Messfleck) als ein wesentliches Charaktermerkmal, muss man nun umdenken: Bei einer neuen Generation von Messsystemen, Liniensensoren genannt, spricht man nicht mehr von einem Messpunkt auf einer Oberfläche, sondern von einer Linie, auf der gemessen wird. Diese Linie kann je nach Auslegung des Systems bis zu 5 mm lang sein und besteht ihrerseits aus 192 wie auf einer Perlenschnur aufgereihten Einzelpunkten. Fragt sich nur: Wozu der ganze Aufwand? Schnellere Messungen möglich Die Antwort liegt in der Natur von speziellen Messaufgaben: Immer wenn Topographien (Geometrien und dreidimensionale Strukturen von Oberflächen) gemessen werden sollen, hat gerade ein kleiner Messfleck, der für eine hohe Auflösung bzw. Genauigkeit steht, einen Nachteil: Es braucht eine lange Zeit, bis die gewünschte Oberfläche gemessen ist, da sich die Bewegungsgeschwindigkeit des Messkopfes bei der Abtastung nicht beliebig erhöhen lässt. Hier kommt der neue Liniensensor CHRocodile CLS ins Spiel. Sein „Messfleck“ ist nichts anderes ist als eine Linie von bis zu 5 mm Länge, gebildet aus einer großen Anzahl (192) von Einzelmesspunkten. Bei gleicher Schrittgeschwindigkeit des Messkopfes lässt sich nun in gleicher Zeit eine viel größere Fläche abtasten, als es mit nur einem punktförmigen Messfleck möglich wäre. Dies ist besonders dort interessant, wo großflächige Scans durchgeführt werden. So verkürzt sich für Hersteller von Prägewalzen für Lederimitate oder Tapeten die Abtastzeit von mehreren Tagen auf einige Minuten.

Geeignet für viele Anwendungen Es gibt viele weitere Anwendungen, die sich diesen Vorteil zunutze machen: In der Präzisionsmechanik, beispielweise in der Uhrenindustrie, können filigrane Strukturen wie Zifferblätter, Zeiger oder Antriebselemente durch diese flächenhafte 3D-Messtechnik sehr viel schneller gemessen werden, um Aussagen über Passgenauigkeit bzw. Oberflächeneigenschaften der Kleinstteile zu erhalten. Bauteile aus der Uhrenindustrie, gescannt mit einem Liniensensor Bild: © Precitec Optronik In der Luftfahrtindustrie interessiert besonders die Rissbildung bei Turbinenschaufeln,...

Zwei unterschiedliche Bauformen mit geradem oder abgewinkeltem Messkopf erleichtern den Einbau in bestehende Anlagen. Eine große Flexibilität bieten die drei Messköpfe, die derzeit für den Liniensensor erhältlich sind: Der Messbereich des CHRocodile CLS lässt sich mit ihnen von 200 Mikrometern bis 4 Millimetern wählen, bei einer Linienlänge von 1 bis 5 Millimetern. Allen Systemen gemein ist eine sehr hohe Messrate von 384.000 Punkten/s, die ihn zum schnellsten und genauesten Flächensensor macht, den Precitec Optronik je gebaut hat. Rechts: CHRocodile CLS Liniensensor, erhältlich in...