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RGH25U uhv, RGH25F UHV, RGH20F UHV

RGH25U uhv, RGH25F UHV, RGH20F UHV
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Katalogauszüge

Die Reihe vakuumkompatibler, optischer Wegmess-Systeme von Renishaw bietet alle Vorzüge der bewährten Baureihe RG2; berührungslose, patentierte Filteroptik, hervorragende Genauigkeit und hohe Geschwindigkeiten. Diese neue Reihe wurde speziell aus UHV-tauglichen Materialien und Klebstoffen gefertigt, um niedrige Ausgasungsraten und eine saubere RGA zu erhalten. Darüber hinaus zeichnen sich die Abtastköpfe auch durch einen niedrigen Stromverbrauch aus, sodass nur wenig Wärme erzeugt wird. Das RGH20F UHV Mess-System wurde für die Verwendung mit den RESR Messringen sowie RSLR linear Maßstäben in UHV entwickelt . Die Abtastköpfe RGH20F UHV und RGH25F UHV werden mit dem REFInterface verwendet, das mit einer automatischen Amplitudenstabilisation und einer Selbst-Kalibrier-Elektronik ausgestattet ist. In Verbindung mit den Filteroptiken gewährleisten diese eine exzellente Genauigkeit der Interpolation und einen geringen zyklischen Fehler. Die REF-Interface-Einheiten sind mit Auflösungen von 5 µm bis 5 nm erhältlich, auch 1 Vss Analogausgänge Eine eingebaute dreifarbige EinstellLED sorgt für eine schnelle und einfache Installation. Alle Abtastköpfe werden standardmäßig mit einem RFIabgeschirmten, UHV-kompatiblen Kabel geliefert. • Saubere RGA • Niedrige Ausgasraten • Hohe Ausbacktemperatur von 120 °C • Abtastköpfe mit niedrigem Stromverbrauch • Berührungsloses, optisches System • Auflösungen bis 5 nm • Geringer zyklischer Fehler • Selbst-Kalibrier-Elektronik für höchste Genauigkeit und langfristige Zuverlässigkeit • Verwendet das Maßband RGS20-S, das WinkelmessSystem RESR (20 µm) oder der Maßstab RSLR

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Kompatibilität von Abtastkopf / Interface / Maßband Abtastkopf Kompatibles Interface Kompatibles Maßband RGS20-S RESR oder RSLR Der Pfeil gibt die Vorwärtsrichtung des Abtastkopfes in Bezug auf das Maßband an HINWEIS: Für Einzelheiten zur Installation siehe RGH25F Installationshandbuch (M-9562-0002) 2 Montagebohrungen M3 durchgehend Optische Mittellinie Abstand zwischen Abtastkopf und Maßband *Diese Maße beziehen sich auf den Installationsuntergrund RGH20F UHV/RESR Installationszeichnung Abmessungen und Toleranzen in mm (Yaw tol. ± 0,5°) 0,3 HINWEIS: Für RGH20F/RSLR Installation siehe RSLM...

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apply innovation™ REF Installationszeichnung - Interface zur Verwendung mit dem RGH20F/RGH25F UHV ^ £^ Alle Abmessungen und Toleranzen in mm Optionale Montagehalter - SUB-D Buchse SUB-D Stecker HINWEIS: Einzelheiten zur Installation finden Sie im RGH25F-lnstallationshandbuch (M-9562-0001) HINWEIS: REF-Interface-Einheiten sind nicht vakuumtauglich Elektrische Anschlüsse Innere Schirmung (falls vorgesehen) HINWEIS: Die maximale Kabellange ,„,,.„.,„ _ . _ ,. , , , ., ^ „ . HINWEIS: Der innere Schirm darf nur an den HINWEIS: Maximale Kabellänge: - Digitalausgänge, siehe nachfolgende Tabelle...

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Elektrische Spezifikation und technische Daten Spannungsversorgung 5 V - 5% +10% Das Interface ist <300 ms nach Einschaltung der Spannungsversorgung voll betriebsfähig. Das Interface und der Abtastkopf sind vor Gegenspannung und Überspannung bis 12 V geschützt. Wegmess-Systeme von Renishaw müssen durch eine 5 V DC Spannungsquelle versorgt werden, entsprechend den Bestimmungen EN (IEC) 60950 für SELV-Stromkreise. <200 mVss bei Frequenzen bis max. 500 kHz Stromverbrauch Nur Abtastkopf, 50 mA (Für Digitalausgänge) Stromaufnahme bezieht sich auf Interfaceeinheiten ohne Abschluß-widerstand. Der...

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apply Innovation'" Selbstoptimierende, aktive Korrektur Der REF Interpolator korrigiert Eingangssignalfehler und optimiert dadurch die Systemgenauigkeit. Korrekturen sind vorgesehen für: Automatic Offset Control (AOC) - kontrolliert den Offset unabhängig für Sinus- und Kosinussignale Automatic Gain Control (AGC) - gewährleistet eine konstante 1 Vss Signalamplitude Automatic Balance Control (ABC) - reguliert die Verstärkung zum Abgleich von Sinus- und Kosinussignalen Diese Korrekturmechanismen werden bei allen Betriebsgeschwindigkeiten des Abtastkopfes eingesetzt. Der Benutzer kann die...

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RGA Ergebnisse Testablauf Ein auf einen Scan-Bereich von 250AMU eingestelltes Quadrupol-Massenspektrometer (Thermo Onix Smart IQ+ mit einem UHV-Kopf mit Dreifachfilter (300D) ausgestattet) wurde verwendet, um RGA (Restgasanalyse)-Daten zu erfassen und den Gesamtkammerdruck zu messen. Nach der anfänglichen Voreinstellung des Systems wurde ein Hintergrundspektrum zusammen mit dem Gesamtdruck in der Testkammer aufgezeichnet. Die Komponente wurde in die Vakuumkammer (0,015 m3) gesetzt und das System wurde dann mit Hilfe einer Rotationspumpe des Typs Edwards E2M18 und einer Turbomolekularpumpe...

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Ausgangsspezifikationen Digitale Ausgangssignale - Typ REF Digitalausgang interface Signalform - Rechtecksignal, Differenzial-Leitungstreiber EIA RS422A Inkremental 2 Ausgänge A und B, um (um 90° phasenverschoben) Inkremental 2 Ausgänge V1 und V2 differenzielle Sinussignale (um 90° phasenverschoben) Synchronisierter Puls Z, Länge entsprechend der Auflösung Lange Referenzmarke (Optionen C) Länge 126° (elektrisch). Wiederholbarkeit der Position (uni-direktional) innerhalb eines Bereichs von ±10 °C von der Installationstemperatur und über eine Geschwindigkeit von <250 mm/s beibehalten....

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Renishaw GmbH Karl-Benz-Straße 12 72124 Pliezhausen Deutschland Bestellnummern für den Interface (Digitalausgang) RGH25F/RGH20F REF C - Vakuum Referenzmarke D - Vakuum Endschalter A - Referenzmarke B - Endschalter C - Lange Referenzmarke Optionen 01 - Vakuumabtastkopf und Kabel Getakteter Ausgang 50 - 50 MHz Zählerfrequenz 40 - 40 MHz Zählerfrequenz 25 - 25 MHz Zählerfrequenz 20 - 20 MHz Zählerfrequenz 12 - 12 MHz Zählerfrequenz 10 - 10 MHz Zählerfrequenz 08 - 8 MHz Zählerfrequenz 06 - 6 MHz Zählerfrequenz 05 - 5 MHz Zählerfrequenz 03 - 3 MHz Zählerfrequenz 01 - 1 MHz Zählerfrequenz...

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