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intelliSCAN III Scan-Köpfe

intelliSCAN III Scan-Köpfe
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Katalogauszüge

Mehr Informationen unter: smart scanning meets low drift Die Scan-Köpfe der neuen intelliSCAN ® III-Serie setzen Maßstäbe hinsichtlich Langzeitstabilität und Dynamik. • Erheblich reduzierte Langzeitdrift (- 50%) • Wesentlich niedrigere Temperaturdrift • Mehrere umschaltbare Tunings für kürzere Prozesszeiten • Applikations- und kundenspezifische Tunings • Erfassung aller wichtigen Zustandsgrößen in Echtzeit • Umfangreiche Diagnosemöglichkeiten In den intelliSCAN ® III Scan-Köpfen kommen erstmals die neuen Galvanometer-Scanner der dynAXIS ® 3-Serie zum Einsatz. In Kombination mit der neuen Elektronik bieten diese Galvos höchste Dynamik, niedrigste Driftwerte und beste Linearität. Die intelliSCAN ® III Scan-Köpfe bieten weiterhin alle Vorteile der intelliSCAN ®-Serie. Dazu gehören ihre vielfältigen Optionen und ihre digitale Regelelektronik, deren leistungsfähige Algorithmen eine sehr hohe Dynamik und Beschriftungsqualität ermöglichen. Darüber hinaus liefert die Scan-Kopf-Elektronik umfangreiche Möglichkeiten zur Diagnose und zur Kommunikation zwischen Scan-System und Kontrollrechner, sowie zur Erfassung aller wichtigen Zustandsgrößen des Scan-Systems. Typische Applikationen: • • • • • Mikrostrukturierung Markieren, Schweißen, Bohren Rapid Prototyping, Rapid Tooling Materialbearbeitung in der Halbleiterindustrie „Processing on the fly“

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intelliSCAN III10 Apertur Schleppverzug • Verschiedene Objektive • Ohne Gehäuse als Scan-Modul möglich gute Schreibqualität hohe Schreibqualität • Zusätzliches Referenzsensorsystem (ASC) zur automatischen Selbstkalibrierung Gemeinsame Spezifikationen Typischer Auslenkwinkel Abweichung des Auslenkwinkels Abweichung von der Nullposition Nichtlinearität Versorgungsspannung (Anforderungen) Schnittstelle • Kameraadapter zur optischen Prozessüberwachung Optische Werte (alle Winkelangaben optisch) (1) mit optimiertem Tuning (2) ausgeregelt auf 1/1000 Vollausschlag (3) mit F-Theta-Objektiv, f =...

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