Mehr Informationen unter: smart scanning meets precision Die intelliSCAN se® Scan-Köpfe besitzen – dank digitaler EncoderTechnologie – beste Positioniergenauigkeit bei höchster Dynamik. Mit niedrigsten Drift- und Ditherwerten setzen sie neue Maßstäbe für hochgenaues Scannen und sind insbesondere für High-EndApplikationen geeignet. Anwendungen an Präzisions-Positioniertischen, die höchste Anforderungen sowohl an Durchsatz und Produktivität als auch an Genauigkeit stellen, geben das perfekte Arbeitsumfeld für diese Scan-Köpfe ab. Die Kombination aus herausragender Präzision und Dynamik der intelliSCAN se Scan-Köpfe wird durch Einsatz der eigenentwickelten dynAXIS se® Galvanometer-Scanner erreicht. Hier kommt die von SCANLAB patentierte digitale Encoder-Technologie mit feststehendem Maßstab und extrem geringer Trägheit zum Einsatz. Diese garantiert höchste Bearbeitungsgenauigkeit auch bei sich ändernden Umgebungs- und Bearbeitungsbedingungen. Sie macht den intelliSCAN se ® 10 zum schnellsten auf dem Markt erhältlichen, hochpräzisen 10-mm-Scan-Kopf – bei einem hervorragenden Preis-Leistungs-Verhältnis. Die Scan-Köpfe der intelliSCAN se® Serie zeichnen sich durch die bewährte digitale Regelelektronik aus, deren leistungsfähige Algorithmen beste Dynamik und Bearbeitungsqualität ermöglichen. Diese Elektronik kann mit mehreren Regelalgorithmen und Parametersätzen (Tunings) ausgestattet und erweitert werden. Zudem bietet die Elektronik umfangreiche Möglichkeiten zur Erfassung von Zustandsgrößen, Diagnose und Kommunikation zwischen Scan-System und Kontrollrechner. Sämtliche wichtige Zustandsgrößen des Scan-Systems wie Position und Geschwindigkeit der Spiegel, Endstufenströme, Versorgungsspannung und Temperatur werden erfasst. Diese Werte können somit sowohl zur Prozess-Simulation als auch zur Überwachung, Dokumentation und Anpassung des Bearbeitungsprozesses bei sicherheitskritischen Applikationen eingesetzt werden. Typische Anwendungen: • • • • Mikrobearbeitung Mikrostrukturierung Materialbearbeitung „Processing on the fly“ Typische Branchen: • Display- und Elektronikindustrie • Halbleiter- und Photovoltaikindustrie • Automobilindustrie

• Verschiedene Objektive Apertur Tuning gute Schreibqualität hohe Schreibqualität • Ohne Gehäuse als Scan-Modul möglich • Kameraadapter zur optischen Prozessüberwachung Gemeinsame Spezifikationen Optische Werte Typischer Auslenkwinkel Abweichung des Auslenkwinkels Abweichung von der Nullposition Nichtlinearität Versorgungsspannung (Anforderungen) Schnittstelle Dither (Rauschen in der Positionierung, RMS) (alle Winkelangaben optisch) mit F-Theta-Objektiv, f = 160 mm ausgeregelt auf 1/1000 Vollausschlag (3) Bei konstanter Umgebungstemperatur und Belastung, ohne Wasserkühlung; Werte mit temperaturgeregelter...