Meßtechnik GmbH Produktinformation Vibrometersystem für Mikrostrukturen und MEMS

Nano Vibration Analyzer NA Der Nano Vibration Analyzer NA ist eine Kombination aus einem fasergekoppelten Vibrometer der Serie LSV 120 NG und einem technischen Mikroskop. Das System eignet sich hervorragend zur Messung des dynamischen Verhaltens und der statischen Auslenkung von Mikrostrukturen, MEMS und Cantilevern. Je nach verwendetem Objektiv ist eine Größe des Messspots von unter 2 µm erreichbar. Das Messobjekt kann mittels eines X-Y-Tisches über einen großen Bereich positioniert, gescannt und mit einer Kamera beobachtet werden. Das Mikroskopobjektiv ist austauschbar und definiert sowohl...

Anwendungsmöglichkeiten: • Schwingungs- und Wegmessung an Mikrobauteilen, MEMS • berührungslose Schwingungsmessung an Oberflächen beliebiger Rauheit • Ermittlung von Schwingungsspektren • Bestimmung von Schwingungsformen • Bestimmung von Eigenfrequenzen an Mikroobjekten und makroskopischen Bauteilen • Mehrkoordinatenmessungen mit Mehrfachsystemen • Wissenschaft / Forschung

Für kundenspezifische Ausführungen, OEM-Anwendungen oder die Integration in Sondermessplätze sprechen Sie uns bitte an. Gern stehen wir Ihnen persönlich für die Lösung Ihrer Messaufgaben zur Seite. SIOS Meßtechnik GmbH Am Vogelherd 46 98693 Ilmenau / Deutschland Telefon: +49 (0) 3677 64 47-0 E-Mail: [email protected]