Besondere Merkmale und Vorteile Die Nanopositionier- und Nanomessmaschine für die dreidimensionale Koordinatenmessung arbeitet in einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm mit einer Auflösung von 0,1 nm. Durch eine besondere Sensoranordnung wird eine, in allen drei Koordinatenachsen abbefehlerfreie Messung gewährleistet. Die Messachsen von drei Miniaturinterferometern mit Planspiegelreflektor zur Längenmessung schneiden sich virtuell in dem Berührungspunkt des Antastsensors mit dem Messobjekt. Das Messobjekt liegt direkt auf einer beweglichen Spiegelecke. Die Position der Spiegelecke wird durch...