Meßtechnik GmbH Präzision neu definiert Simultane Längen- und Winkelmessung mit SP 5000 TR schnellere und zuverlässigere Messergebnisse Reduzierung der Messunsicherheit verbesserte Reproduzierbarkeit Zeitersparnis im Messprozes

PRECISION IN MEASUREMENTLänge • Winkel • Geradheit • Schwingung • Temperatur Top-Innovator 6 | Die Herausforderung Thermische Einflüsse in der laserinterferometrischen Längen- und Winkelmessung 7 | Die Lösung Dreistrahl-Interferometer SP 5000 TR zur simultanen, präzisen Messung von Längen, Nick- und Gierwinkel 4 Typische Herausforderungen der präzisen Längen- und Winkelmessung 7 Die Lösung: Das DreistrahlLaserinterferometer SP 5000 TR 10 Case Study 1: Hochpräzise Längenmessung ohne Abbe-Fehler 11 Case Study 2: Längenmessung im Nahbereich ohne Ausrichtfehler 12 Case Study 3: Dynamische Winkelmessung...

Die Herausforderung Präzision ist ein entscheidender Faktor in der modernen Industrie und Forschung. Typische Herausforderungen der präzisen Längen- und Winkelmessungen In vielen High-Tech-Branchen wie Maschinenbau, Halbleiterfertigung Zeitverlust durch zeitversetzte Messungen und Optik werden die Anforderungen an Messunsicherheit und Pro- Längen- und Winkelmessungen werden oft sepa- zesskontrolle immer anspruchsvoller. rat durchgeführt, was nicht nur zeitaufwendig ist, sondern bei wechselnden Umgebungsbedingun- begegnen, hat unser Entwicklerteam das gen zu unbekannten Abweichungen im Gesamt-...

Die Lösung Thermische Einflüsse in derlaserinterferometrischen Längen- und Winkelmessung Werkstoffe Längenausdehnungskoeffizient Wärmeleitfähigkeit Fazit: Eine schnelle und simultane Erfassung mehrerer Freiheitsgrade ermöglicht eine zusammenhängende Analyse von Messabweichungen. Dadurch können die Einflüsse von Temperaturfluktuationen auf verschiedene Messgrößen reduziert werden, da diese gleichzeitig gemessen werden. In industriellen und wissenschaftlichen Anwendungen bestehen Messeinrichtungen selten aus einem einzigen Werkstoff. Granit, Edelstahl, Titan, Invar, Aluminium, Keramik und Glas...

Dreistrahl-Laserinterferometer SP 5000 TR Dreistrahl-Interferometer sind Präzisionslängenmessgeräte, die in einem Gerät drei Interferometer in sich vereinen. Alle drei Messkanäle werden von einer Lichtquelle mit gleicher, hochstabiler Laserfrequenz gespeist. Somit können simultan drei Längenwerte mit Nanometergenauigkeit erfasst werden. Aus der Differenz jeweils zweier Längenwerte und dem kalibrierten Strahlabstand lassen sich Nick-und Gierwinkel hochaufgelöst und hochgenau bestimmen. Optional kann die Rollwinkelmessung über zusätzliche Sensoren integriert werden. Das Interferometer-System ist...

Case Study 2 Hochpräzise Längenmessung ohne Abbe-FehlerLängenmessung im Nahbereich ohne Ausrichtfehler Die präzise Längenmessung stellt eine besondere Herausforderung dar, wenn der Messreflektor nicht fluchtend zur Bewegungsachse positioniert werden kann. Dieser Versatz führt zum sogenannten Abbe-Fehler, der die Messunsicherheit erheblich beeinträchtigen kann. Die Abbildung zeigt, dass es in der Regel geometrisch nicht möglich ist, die Messachse des Interferometers direkt in die Antriebsachse der zu messenden Führung zu legen. Der Abstand zwischen der Antriebsachse und der Messachse in Verbindung...

Dynamische Winkelmessung mit einem Leichtbaureflektor Hochauflösende dynamische Winkelmessung an optischen Oberflächen Messungen in dynamischen Anwendungen erfor- dern häufig leichtes Messequipment, damit diese Oberflächen optischer Qualität mit schlechten Re- flexionseigenschaften, die sich verkippen, stellen Bewegungen nicht durch das Eigengewicht beein- Hochdynamische Anwendungen eine besondere Herausforderung für präzise Mes- Hochdynamische Bewegungen flusst werden. Dies gilt insbesondere für schnelle, Das SP 5000 TR kann selbst bei schnellen Bewegun- Der Linsenvorsatz ermöglicht präzise...

Case Study 6 Hochstabile Langzeit-, Längen- und WinkelmessungHochstabile Längen- und Winkelmessung im Vakuum Bei besonders hohen Anforderungen an die Messwertstabilität über längere Zeiträume kommen Laserinterferometer zum Einsatz, die nach dem Differenzprinzip arbeiten. Dabei sind Mess- und Referenzstrahl so angeordnet, dass der Abstand zwischen ihnen minimal wird. Das Laserinterferometer SP 5000 DI/TR als Differenzversion des Dreistrahl-Interferometers ist hierfür die richtige Wahl. EinsatzmöglichkeitenHochstabile Messanordnungen Der Einfluss der Totstrecke der Messung entfällt durch das Differenzprinzip...

Case Study 8 Schnelle Abnahmemessungen in der Produktion von LinearachsenLängen- und Winkelmessung in schwer zugänglichen Messanordnungen In der modernen Fertigung von Linearachsen sind präzise und schnelle Abnahmemessungen essenziell. Besonders bei hoher Taktung müssen Messungen dynamisch, simultan und mit höchster Präzision erfolgen, um alle relevanten Freiheitsgrade einer Achse zu erfassen. Kombination mit der InfasAXIS Software, bietet hierfür eine optimale Lösung. Dieses System ermöglicht die simultane Erfassung aller relevanten Parameter einer Linearachse in Echtzeit. Erfassung aller relevanten...

Das passende Zubehör zum Dreistrahl-Laserinterferometer SP 5000 TR Präzise Messraumüberwachung für zuverlässige Messergebnisse Gerade im industriellen Umfeld finden Messungen SIOS bietet Ihnen das Equipment und die nicht immer unter idealen Laborbedingungen oder Software zur lückenlosen Überwachung Ihrer in optimierten Messräumen statt. Die Überwachung der Umgebungsbedingungen ist Dreifach-Reflektoreinheit jedoch von entscheidender Bedeutung LCS-Temp – Mobiles Set zur Rundum-Über- (siehe Informationen Seite 6). wachung von Messräumen Das LCS-Temp Standardset enthält acht Temperatursensoren mit...