PRODUKTE Precision in Measurement

Länge • Winkel • Geradheit • Schwingung • Temperatur

SIOS Meßtechnik GmbH 4 Weg-, Winkel-, Geradheitsmessung und Kalibrierung 12 Taktile Dickenmessung und Kalibrierung 16 Frequenz- und amplitudenstabilisierte Laser 22

Die 1991 gegründete SIOS Meßtechnik GmbH, deren Wurzeln in der Technischen Universität Ilmenau liegen, ist Entwickler und Hersteller von Präzisionsmessgeräten und verbindet wissenschaftliche Präzision und Qualität mit industrieller Effizienz. Die Nähe zu Wissenschaft und Forschung garantiert hohe Kompetenz für heute und die Zukunft. Der Schwerpunkt unserer Messgeräte liegt auf laser-interferometrischen Messsystemen. SIOS-Produkte liefern zuverlässige und hochgenaue Ergebnisse für eine Vielzahl von Messaufgaben in Wissenschaft und Forschung, Qualitätskontrolle, Produktentwicklung und Kalibrierung....

INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN • volumetrische Kompensation für Maschinen • kundenspezifische Lösungen WISSENSCHAFTLICHE KOMPETENZ • rückführbare Anwendungen • messtechnische Einrichtungen • dynamische Datenerfassung • kundenspezifische Lösungen

Universell einsetzbare Längenmessgeräte höchster Genauigkeit zum Messen und Kalibrieren von Führungen, Mess-, Mikroskop- und Positioniertischen, Mess- und Werkzeugmaschinen sowie für Mehrkoordinatenmessungen und die berührungslose Vermessung von Oberflächen. Die Messsysteme sind durch die integrierte Ausrichthilfe einfach zu justieren und können mit nur einer reflektierenden Fläche als Reflektor arbeiten. • einstrahliges Messsystem • Winkelmessbereich bei Verwendung eines Reflektors bis zu ± 12,5° • geeignet zur x-y-Positionierung für Messungen in Kombination mit Planspiegeln • kompaktes Gerät...

Hochpräzises Laserinterferometer mit drei perfekt parallel ausgerichteten und unabhängig voneinander arbeitenden Messstrahlen für hochgenaue simultane Längen- und Winkelmessungen. Als Reflektor kann entweder ein Spiegel oder die original SIOS-Reflektor-einheit verwendet werden. Eine Ausrichthilfe kann in den Sensor integriert werden, um die Strahlrichtungen auf die Bewegungsrichtung des Messobjekts auszurichten. • gleichzeitige Längenmessung sowie Nick- und Gierwinkelerfassung mit höchster Genauigkeit • kombinierbar mit Rollwinkelmesssensoren (siehe Zubehör) • OEM- und Vakuumversionen sind auf...

Hochstabiles Laserinterferometer mit zwei parallelen Messstrahlen für Langzeitmessungen in Forschung und Entwicklung. Durch die differentielle Messung wird eine hohe Stabilität für den Langzeiteinsatz und eine Kompensation von Umgebungseinflüssen während der Messung erreicht. • ultrastabile, hochauflösende Langzeitmessung • Strahlabstand: 21 mm (andere Strahlabstände auf Anfrage) • extrem niedrige Temperaturempfindlichkeit < 20 nm / K 0 m bis mind. 5 m 5 pm ±430 prad 0,005 prad

• spezielle Ausführung für Positionieraufgaben • Strahlabstand: 14 mm (andere Strahlabstände auf Anfrage) • extrem niedrige Temperaturempfindlichkeit < 10 nm / K 0 m bis mind. 5 m 5 pm ±430 prad 0,007 prad

Messgeräte und Sensoren Differenzielle Messung von Längen und einem Winkel Das Interferometer SP 5000 DI/DS vereint die Vorteile des Differenzinterferometers mit denen eines Mehrstrahlinterferometers. Es verbindet eine hochstabile Längenmessung nach dem Differenzprinzip mit einer hochauflösenden interferometrischen (Nick-) Winkelmessung. So ist es möglich, nicht nur winzigste Bewegungen, sondern auch kleinste Verkippungen über größere Bereiche hinweg zu erfassen, ohne dass die Ergebnisse thermischen und physikalischen Umwelteinflüssen unterliegen. Weg-Winkel-Differenzinterferometer Modell SP...

Das Laserinterferometer SP 5000 DI/TR ist ein Dreistrahl-Differenz-Interferometer, welches Länge als auch beide Winkel hochstabil über lange Zeiträume erfassen kann. Dreistrahl-Differenzinterferometer Modell SP 5000 DI/TR • hochstabile differenzielle Längen- und Nickwinkelmessungen • extrem niedrige Temperaturempfindlichkeit < 20 nm / K • OEM- und Vakuumversionen sind auf Anfrage möglich

Hochpräzises Laserkalibriersystem mit mehreren Strahlen für die Messungen von Länge, Nickwinkel, Gierwinkel, Rollwinkel und Geradheit, zur Kalibrierung und Ausrichtung von Achsen. Sehr gefragt im Bereich der Werkzeugmaschinen und KMG-Kalibrierung, bis hin zur volumetrischen Kalibrierung. Für exakte Ergebnisse empfehlen wir die Verwendung von kabellosen Temperatursensoren oder die Präzisions-Klimamessstation LCS. Kalibrier-Laserinterferometer Modell SP 15000 C3/C5/C6 NG• interferometrische Messung für bis zu 6 DoF • Rollwinkelmesssensoren optional verfügbar • diverses Zubehör zur Befestigung von...

Berührungslose Schwingungsmessung mit fokussiertem Messstrahl, der Schwingungen auf nahezu allen Oberflächen, auch auf rauen Oberflächen, erfassen kann. Bestimmung von Schwingungsspektren, Schwingungsmoden und Resonanzfrequenzen von Makro- und Mikroobjekten. Laserinterferometrisches Vibrometer Modell LSV 120 NG • Arbeitsabstand festgelegt auf (kundenspezifisch) 30...70 mm / 240 mm / 480 mm • geschützte Innenoptik

Variabler Messabstand zur einfachen und schnellen Fokussierung des Strahls auf die Oberfläche des Messobjekts. In Verbindung mit einem Stativ ein ideales Schwingungsmessgerät für den Einsatz an verschiedenen Orten. Laserinterferometrisches Vibrometer Modell LSV 2500 NG • Arbeitsabstand stufenlos einstellbar: 240 ... 2500 mm • digitale und analoge Datenauslesung

Berührungslose Messung der dynamischen Eigenschaften von Mikrostrukturen, MEMS und Objekten im Mikrometerbereich. Bestimmung von Schwingungsmoden durch Oberflächenabtastung, Kalibrierung von AfM Cantilevern. Nano Vibration Analyzer NA • X-Y-Tisch 50 mm x 50 mm, andere Optionen auf Nachfrage • Durchmesser des Laserspots 2 pm - 10 pm, (Objektiv abhängig) • kundenspezifisches Portaldesign auf Anfrage