Technisches Datenblatt: Kalibrier-Laserinterferometer SP 15000 C5

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Technisches Datenblatt: Kalibrier-Laserinterferometer SP 15000 C5

Zusammenfassung des Produktkatalogs

Technisches Datenblatt: Kalibrier-Interferometer Serie SP 15000 C5 NG

Geräteparameter:

Längenmessung: Messbereich von 0 m bis 50 m mit einer Auflösung von 0,3 nm.
Winkelmessung: Messbereiche für Nick- und Gierwinkel liegen bei ±5° mit einer Auflösung von 0,05 µrad.
Geradheitsmessung: Lateral ±4 mm mit einer Auflösung von 10 nm. Axialbereich von 0,1 bis 4 m / 0,3 bis 10 m.

Messunsicherheit unter stabilen Bedingungen:

Längenmessung: ±0,2 µm/m.
Winkelmessung: ±0,04 % ± 0,04 µrad.
Geradheitsmessung: 0,1 bis 4 m ±0,1 % ± 0,1·(M)² μm ± 0,25 μm; 0,3 bis 10 m ±0,15 % ± 0,1·(M)² μm ± 0,25 μm.

Technische Spezifikationen:

Strahlabstände (horizontal und vertikal): 50 mm.
Wellenlänge: 632,8 nm.
Frequenzstabilität des He-Ne-Lasers: 2·10⁻⁸.
Einlaufzeit des He-Ne-Lasers: 20 min.
Arbeitstemperaturbereich: 15 bis 30°C.
Maximale Verschiebegeschwindigkeit des Messreflektors: 3 m/s.

Geometrische Daten:

Abmessungen: Sensorkopf mit Justiergelenk [284 x 168 x 141] mm; Reflektoreinheit [74 x 81 x 88] mm; Geradheitsspiegel [132 x 103 x 82] mm; Elektronische Versorgungs- und Auswerteeinheit [450 x 450 x 150] mm.
Masse: Sensorkopf Justiergelenk 5,2 kg; Reflektoreinheit 585 g; Geradheitsspiegel 600 g; Elektronische Versorgungs- und Auswerteeinheit 11 kg.

Elektronische Daten:

Schnittstellen: Standard USB, andere auf Anfrage.
Kabellänge zwischen Sensorkopf und Elektronikeinheit: 6 m, andere Längen auf Anfrage.
Spannungsversorgung: 100 bis 240 VAC / 47 bis 63 Hz.
Laserschutzklasse nach EN 60825-1:2014 und ANSI Z136.1 (CDRH): 2M, II.

Katalogauszüge

Technisches Datenblatt: Kalibrier-Laserinterferometer SP 15000 C5-1

Technisches Datenblatt * das kleinste Inkrement (LSB) 08/2026- Änderungen Vorbehalten. SIOS Meßtechnik GmbH

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