Technisches Datenblatt: Kalibrier-Laserinterferometer SP 15000 C6 NG

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Technisches Datenblatt: Kalibrier-Laserinterferometer SP 15000 C6 NG

Zusammenfassung des Produktkatalogs

Technisches Datenblatt: Kalibrier-Interferometer Serie SP 15000 C6 NG

Geräteparameter:

Längenmessung: Messbereich von 0 m bis 50 m, Auflösung von 0,3 nm.
Winkelmessung: Nick- und Gierwinkelmessbereich ±5° mit einer Auflösung von 0,05 µrad; Rollwinkelmessbereich ±17,5 mrad mit einer Auflösung von 0,9 µrad.
Geradheitsmessung: Lateralbereich ±4 mm mit einer Auflösung von 10 nm; Axialbereich von 0,1 bis 4 m / 0,3 bis 10 m.

Messunsicherheit unter stabilen Bedingungen:

Längenmessung: ±0,2 µm/m.
Winkelmessung: ±0,04 % ± 0,04 µrad.
Geradheitsmessung: 0,1 bis 4 m ±0,1 % ± 0,1·(M)² μm ± 0,25 μm; 0,3 bis 10 m ±0,15 % ± 0,1·(M)² μm ± 0,25 μm.
Rollwinkelmessung: ±2,4 µrad ±0,5 % (19°C – 21°C); ±2,4 µrad ±1,5 % (15°C – 25°C).

Technische Spezifikationen:

Strahlabstände: 50 mm horizontal und vertikal.
Wellenlänge: 632,8 nm.
Frequenzstabilität des He-Ne-Lasers: 2·10⁻⁸.
Einlaufzeit des He-Ne-Lasers: 20 Minuten.
Arbeitstemperaturbereich: 15 bis 30°C.
Maximale Verschiebegeschwindigkeit des Messreflektors: 3 m/s.

Geometrische Daten:

Sensorkopf mit Justiergelenk: [284 x 168 x 141] mm, 5,2 kg.
Reflektoreinheit: [74 x 81 x 88] mm, 585 g.
Geradheitsspiegel: [132 x 103 x 82] mm, 600 g.
Elektronische Versorgungs- und Auswerteeinheit: [450 x 450 x 150] mm, 11 kg.
Rollwinkel Sensoren RAS 175 W: [74 x 54 x 77] mm, je 425 g.

Elektronische Daten:

Schnittstellen: Standard USB, andere auf Anfrage.
Kabellänge zwischen Sensorkopf und Elektronikeinheit: 6 m, andere Längen auf Anfrage.
Spannungsversorgung: 100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz.
Laserschutzklasse: 2M nach EN 60825-1:2014 und ANSI Z136.1 (CDRH).

Katalogauszüge

Technisches Datenblatt: Kalibrier-Laserinterferometer SP 15000 C6 NG-1

Technisches Datenblatt SIOS Meßtechnik GmbH

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Technisches Datenblatt: Kalibrier-Laserinterferometer SP 15000 C6 NG-2

Technisches Datenblatt * das kleinste Inkrement (LSB) 08/2026 ■ Änderungen Vorbehalten. SIOS Meßtechnik GmbH

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