
Katalogauszüge

For high precision matters. PLF3232-xy.60 SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezogetriebener mechanischer Biegungen, um hochpräzise Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm zu realisieren. Der PLF3232-xy.60 bietet einen Scanbereich von 60 μm in Xund Y-Richtung. Mit 45 g ist er sehr leicht und mit 32 x 32 x 20 mm auch recht kompakt. Er vereint zwei PLF3232-x.60Scanner in einem und bietet bei gleicher Leistung eine geringere Bauhöhe. Aufgrund der Größe und des Lochbildes passt er ideal zu anderen Linearpositionierern, wie dem CLS-3232. Durch die Kombination lässt sich ein großer Verfahrbereich mit hoher Präzision realisieren. Scanbereich: > 60 μm Scan-Richtung: X und Y Abmessungen: 32 x 32 x 20 mm Mechanical Scantilt [µrad] Max. Normal Force [N] Dimensions [mm] Weight [g] Material Base Material Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al) Open-loop Open-Loop Resolution MCS2 [nm] Closed-Loop Sensor Resolution MCS2 [nm] Options Vacuum Options Non-Magnetic Option Generated Spec Sheet: 06.05.2024 Copyright © 2024 SmarAct GmbH • All Rights Reserved. SmarAct GmbH | Schuette-Lanz-Strasse 9 | 26135 Oldenburg | Germany T: +49 441 – 800 879 0 | Email:
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