Hochvakuum-Eckventil Serie RoHS Schaftdichtung Doppeltwirkend Einfachwirkend Doppeltwirkend Faltenbalgdichtung O-Ring-Dichtung Aluminiumgehäuse • Gleichmäßige Ausheiztemperatur • Minimale Ausgasung • Hervorragender Korrosionsschutz gegenüber Fluorgas • Leicht und kompakt • Minimale Kontamination durch Schwermetalle Austauschbarer Faltenbalg (Faltenbalgdichtung) Die Faltenbalg-Baugruppe kann ausgetauscht werden, dadurch entsteht ein geringerer Wartungsaufwand und weniger Abfallstoffe. Das Modell mit Elektromagnetventil wurde hinzugefügt. Die Hochtemperaturausführung wurde mit einem hitzebeständigen elektronischen Signalgeber mit 2-Betriebsanzeige ausgestattet. (Als Option erhältlich, für weitere Informationen siehe Seite 18) Signalgeber Verstärker Pneumatikantrieb Faltenbalg-Baugruppe

Gleichmäßige Ausheiztemperatur Dank der hervorragenden thermischen Leitfähigkeit bleibt die Temperatur des gesamten Ventilkörpers konstant und die Ablagerungen von Prozessgasen im Ventilinnern werden deutlich reduziert. Messung mit Flanschgröße KF25 Zeit [Minuten] Leicht und kompakt Große Leitfähigkeit, kleines Gehäuse. Hervorragende Korrosionsbeständigkeit gegenüber Fluorgas. Serie XLA Gewicht Leitfähigkeit∗1 [kg] [l/s] ∗1 Bei allen Serien gleich. Minimale Ausgasung Dank der geringen Ausgasung kann eine Vakuumpumpe mit geringerer Leistung verwendet und die Evakuierungszeit verkürzt werden. Minimale...

Hochvakuum-Eckventil Serie XL-2 Ausführung Neue Varianten Ventiltyp Schaftdichtung Anwendung Partikelfrei, gereinigt Partikelfrei, gereinigt D Doppelt- Faltenbalgw wirkend dichtung Partikelfrei, gereinigt Pneumatisch betätigt E EinfachO-Ringwirkend w Dichtung (NC) E EinfachO-Ringwirkend Dichtung (NC) Do Doppelt- O-Ringw wirkend Dichtung Hohe Schaltleistung HochgeschwindigkeitsAnwendung Hohe Schaltleistung HochgeschwindigkeitsAnwendung Hohe Schaltleistung ∗ Die Serie XLCV und XLGV gibt es als Sonderausführungen. Bitte kontaktieren Sie für Details SMC. Hochvakuum-Eckventil Variantenübersicht Ausführung...

Aluminium Hochvakuum-Eckventil Einfachwirkend (drucklos geschlossen)/Faltenbalgdichtung Serie XLA/XLAV w Flanschausführung BestellAusführung Verwendbarer Flansch option KF(NW) 16, 25, 40, 50, 63, 80 — K(DN) 63, 80 D Anzahl ohne Signalgeber 2 Stk. 1 Stk. 1 Stk. Bestelloption Betriebsanzeige Lage Druckluftanschluss ohne Betriebsanzeige Flanschseite — Flanschseite A mit linke Flanschfläche F Betriebsanzeige hintere Flanschfläche G rechte Flanschfläche J linke Flanschfläche K ohne hintere Flanschfläche L Betriebsanzeige rechte Flanschfläche M t Signalgeber Heizelement — — mit 100 °C Heizelement mit...

Aluminium Hochvakuum-Eckventil Serie XLA/XLAV Pneumatisch betätigt, mit Elektromagnetventil Elektromagnetventil g pneumatisch betätigt, mit Elektromagnetventil XLAV Lage des Symbol Betriebsanzeige Elektromagnetventils Linke Flanschfläche F Mit Hintere Flanschfläche G Betriebsanzeige Rechte Flanschfläche J Linke Flanschfläche K Ohne Hintere Flanschfläche L Betriebsanzeige Rechte Flanschfläche M hintere Flanschfläche rechte Flanschfläche linke Flanschfläche Symbol Ausführung Verwendbare Flanschgröße KF (NW) 16, 25, 40, 50, 63, 80 — K (DN) 63, 80 D Anmerkungen Ohne Signalgeber (ohne eingebauten...

Serie XLA/XLAV Technische Daten XLA(V)-16-2 Drucklos geschlossen (zum Öffnen druckbeaufschlagen, mit Federkraft dichtend) Inertgas, unter Vakuum XLA Betriebsdruck [Pa(abs)] Für Standard-Dichtungsmaterial (FKM): 1,3 x 10−11 bei normaler Temperatur, ausgenommen Gasdurchlässigkeit bei normaler Temperatur, ausgenommen Gasdurchlässigkeit Gehäuse: Aluminiumlegierung Faltenbälge: rostfreier Stahl 316L, Ventil: rostfreier Stahl 304, FKM (Standard-Dichtungsmaterial) Außen: hart eloxiert Innen: unbehandelt ∗1 Der Leitwert entspricht dem Durchflusskennwert eines Rohrbogens mit den gleichen Abmessungen. Konstruktion/Funktionsweise...

Aluminium Hochvakuum-Eckventil Serie XLA/XLAV Abmessungen XLA: Pneumatisch betätigt Signalgeber (Option) ∗1: Die Abmessungen E gelten bei Wahl der Heizelement-Option. (Anschlusskabellänge: ca. 1 m). ∗: (a), (b), (c) zeigen im obigen Diagramm die Einbaupositionen des Heizelementes. Die Einbaupositionen des Heizelementes sind je nach Ausführung unterschiedlich. Für weitere Angaben siehe „Gemeinsame Optionen“ auf Seite 17. XLAV: Pneumatisch betätigt mit Elektromagnetventil N

Aluminium Hochvakuum-Eckventil Doppeltwirkend, Faltenbalgdichtung Symbol Lage Druckluftanschluss Flanschseite — K linke Flanschfläche L hintere Flanschfläche rechte Flanschfläche M hintere Flanschfläche rechte Flanschfläche e Lage Druckluftanschluss linke Flanschfläche w Flanschausführung Symbol Ausführung Verwendbare Flanschgröße KF (NW) 16, 25, 40, 50, 63, 80 — K (DN) 63, 80 D t Signalgeber Heizelement — — Mit 100 °C Heizelement Mit 120 °C Heizelement ∗ Größe 16 ist nicht verwendbar bei H4, H5, Größe 25 ist nicht anwendbar bei H4. ∗ Bei der Ausführung H0 kann kein Heizelement nachgerüstet werden....

Aluminium Hochvakuum-Eckventil doppeltwirkend, Druckbeaufschlagung zum Öffnen/Schließen Inertgas, unter Vakuum 5 bis 60 (Hochtemperaturausführung: 5 bis 150) 1 x 10-6 bis atmosphärischer Druck Betriebsdruck Pa(abs) Leitwert Innen Außen Für Standard-Dichtungsmaterial (FKM): 1,3 x 10-10 bei Normaltemperatur, ausgenommen Gasdurchlässigkeit. Für Standard-Dichtungsmaterial (FKM): 1,3 x 10-11 bei Normaltemperatur, ausgenommen Gasdurchlässigkeit. Gehäuse: Aluminiumlegierung, Faltenbälge: rostfreier Stahl 316L, Ventil: rostfreier Stahl 304, FKM (Standard-Dichtungsmaterial) Außen: harteloxiert Innen:...