Steinmeyer Mechatronik GmbH Hochpräzise Positioniersysteme für Vakuum

Die Steinmeyer Gruppe  Eine Firma. Drei Kompetenzzentren. 650 Mitarbeiter.  Hochpräzise Kugelgewindetriebe, Positioniersysteme und Messtechnik  Entwicklung, Fertigung und Vertrieb in Albstadt, Dresden und Suhl  USA Vertriebsbüro in Burlington, MA, USA Steinmeyer Mechatronik GmbH  Kompetenzzentrum für hochpräzise Positioniertechnik, mechatronische Komponenten und optische LaserKomponenten  120 Mitarbeiter am Standort Dresden  Mehr als 140 Jahre Erfahrung in der Entwicklung und Fertigung von feinmechanischen Komponenten  Innovative Lösungen für eine Vielzahl an Applikationen Steinmeyer...

Was zeichnet uns aus?  Innovative Technologien Komponentenunabhängige Lösungsansätze  Kundenorientierte Entwicklungen Wir entwickeln nach den Bedürfnissen unserer Kunden unter Berücksichtigung des Preis-Leistungs-Verhältnisses  Effektive und professionelle Umsetzung Visuelle Entwürfe, Entwicklungs-Roadmaps, Prototypen, Serienüberführung  Hochpräzise Fertigung und Montage Von Einzelsystemen bis zur prozessoptimierten Serienfertigung Steinmeyer Mechatronik | www.steinmeyer

Vakuumsysteme von Steinmeyer Mechatronik Steinmeyer Mechatronik | www.steinmeyer-mechatronik.de

Vakuum Linearachsen

Hauptanwendung: Scanning von Proben schnelle Positionierung im UHV, auch vertikal Positionierung mit extrem hoher Auflösung, sehr schmale Bauform, innenliegendem Motor, magnetfrei Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10−11 mbar Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10−8mbar / trocken bis 10−11mbar max. Ausheiztemperatur: 120°C Parameter • Hub: 40mm • Repro: ± 0,4µm • Last: 2kg horizontal, kg vertikal • Geschwindigkeit: 100mm/s Technik • Antrieb: Nanomotion • Messsystem: linear 5nm...100nm • Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik • Controller:...

Hauptanwendung: schnelle Zustellachse trotz Trockenlauf hohe Lebensdauer trockenlaufender Kugelgewindetrieb mit Feststoffschmierung Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10−11mbar Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10−8mbar / trocken bis 10−11mbar max. Ausheiztemperatur: 120°C Parameter • Hub: 100mm, 200mm, 500mm • Repro: ± 4µm flüssig, +-10µm trocken SM open loop • mit Messsystem ± 0,5µm • Last: 5kg horizontal, 1kg vertikal • Geschwindigkeit: 50mm/s Technik • Antrieb: Schrittmotor, KGT, (GGT) • Messsystem: linear 100nm • Führung: Edelstahl Hybrid Kugelumlaufführungen • Controller:...

Hauptanwendung: Stellachse / Scanachse auch bei Trockenlauf hohe Lebensdauer Gleitgewindeantrieb mit PTFE-Schmierung (annehmbare Lebensdauer bei Trockenlauf > 200 m) Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10−11mbar Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10−8mbar / trocken bis 10−11mbar max. Ausheiztemperatur: 120°C Parameter • Hub: 5mm, 10mm, 40mm, 80mm • Repro: ± 4µm SM, mit Messsystem ± 0,5µm • Last: 4,5kg horizontal oder vertikal • Geschwindigkeit: 5mm/s Technik • Antrieb: Schrittmotor, (KGT), GGT • Messsystem: ohne oder linear 100nm • Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid Sonderausführung...

Hauptanwendung: Stellachse / Scanachse auch bei Trockenlauf hohe Lebensdauer Gleitgewindeantrieb mit PTFE-Schmierung (annehmbare Lebensdauer bei Trockenlauf > 200 m) Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10−11mbar Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10−8mbar / trocken bis 10−11mbar max. Ausheiztemperatur: 120°C Parameter • Hub: 5mm, 10mm, 40mm, 80mm • Repro: ± 4µm SM, mit Messsystem ± 0,5µm • Last: 20kg horizontal oder vertikal • Geschwindigkeit: 5mm/s Technik • Antrieb: Schrittmotor, (KGT), GGT • Messsystem: ohne oder linear 100nm • Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid zusätzlich verbreiterte...

Hauptanwendung: Stellachse für große Lasten auch bei Trockenlauf hohe Lebensdauer, sehr hohe Steifigkeit mit Piezozangenbremse (Stabilität im Nanometerbereich) Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10−11mbar Magnetismus: magnetisch Schmierung: flüssig bis 10−8mbar / trocken bis 10−11mbar max. Ausheiztemperatur: 120°C Parameter • Hub: 10mm, 50mm, 100mm Sonderausführung mit Getriebe • Repro: ± 4µm SM, mit Messsystem ± 0,5µm • Last: 10kg horizontal, 2kg vertikal • Geschwindigkeit: 5mm/s Technik • Antrieb: Schrittmotor, (KGT), GGT • Messsystem: ohne oder linear 100nm • Führung: Kreuzrolle Edelstahl,...

Nanometer-Positionierung, langer Hub, auch vertikal Positionierung mit extrem hoher Auflösung im Vakuum, höchste Steifigkeit. Je nach Last 2 bis 6 Motoren in Zangenanordnung Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10−11mbar Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10−8mbar / trocken bis 10−11mbar max. Ausheiztemperatur: 120°C Parameter • Hub: 100mm, 200mm, 300mm • Repro: ± 20nm • Last: 4kg, 7kg, 10kg horizontal, 2kg, 4kg, 6kg vertikal • Geschwindigkeit: 5mm/s Technik • Antrieb: Piezomotor • Messsystem: linear 1nm...100nm • Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional...

Steinmeyer Mechatronik | www.steinmeyer-mechatronik.de

Vakuum Mikrotische

Hauptanwendung: Universal-Linearmikrotisch Positionierung mit extrem hoher Auflösung Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10−11mbar Magnetismus: magnetisch / magnetarm / magnetfrei Schmierung: flüssig bis 10−8mbar / trocken bis 10−11mbar max. Ausheiztemperatur: 120°C Parameter • Hub: 10mm • Repro: ± 0,1µm • Last: 0,9kg horizontal, 0,2kg vertikal • Geschwindigkeit: 5mm/s Technik • Antrieb: Piezomotor • Messsystem: linear 5nm...100nm • Führung: Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik • Controller: Galil Steinmeyer Mechatro