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Vakuum Katalog

Vakuum Katalog

Zusammenfassung des Produktkatalogs
Einleitung
Die eisenlosen Vakuum-Linearmotoren der Generation 2 sind speziell für Vakuumanwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt worden. Sie bieten optimale thermische Eigenschaften, Sicherheit und Flexibilität beim Einbau.
Hauptmerkmale
Die Motoren zeichnen sich durch hervorragende RGA-Leistung, geringe Ausgasung und Wartungsfreiheit aus. Sie sind in verschiedenen Spulentypen und -größen erhältlich, um unterschiedlichen Anforderungen gerecht zu werden.
Technische Spezifikationen
Die Motoren sind in drei Hauptserien unterteilt: UXXV, ULV und UMV. Die UXXV-Serie bietet die höchste Leistung, während die UMV-Serie für kleinere Anwendungen geeignet ist. Weitere Spezifikationen umfassen Kabeltypen, Magnetjoche und Torquemotoren mit einem Drehmomentbereich von 0,64 bis 2202 Nm.
Design und Konstruktion
Die Motoren sind vakuumtauglich und verfügen über ein geschlossenes Design zur Wärmeableitung. Sie sind mit Temperatur- und Abschaltsensoren ausgestattet, um Überhitzung zu verhindern.
Wärmemanagement
Ein verbessertes Wärmemanagement sorgt für minimale Wärmeausdehnung und hohe Genauigkeit. Ein Edelstahlstreifen am Gehäuse unterstützt den Wärmefluss.
Lebensdauer und Wartung
Die Motoren sind langlebig und wartungsfrei, was zu reduzierten Betriebskosten führt. Sie sind für den Einsatz im Hochvakuum bis 10-8 mbar ausgelegt.
Montage und Installation
Montageanleitungen und Hinweise zur Ebenheit und Parallelität sind im Installationshandbuch enthalten. CAD-Daten sind online verfügbar.
Kundenspezifische Anpassungen
Standard-Motorserien können an spezifische Anforderungen angepasst werden, einschließlich Wicklungen, Kabelkonfektionierung und zusätzlicher Sensoren.
Simulationstool
Ein Online-Tool zur Motordimensionierung hilft bei der Auswahl des geeigneten Motors basierend auf Applikationsmerkmalen und liefert Diagramme zu verschiedenen Leistungsparametern.
Kontaktinformationen
Die Kontaktdaten der Tecnotion-Niederlassungen in Deutschland, den Niederlanden, Polen, Südkorea, den USA und China sind angegeben.
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Katalogauszüge

Vakuum Katalog-1

EISENLOSE VAKUUMMOTOREN Generation 2 Für optimale Genauigkeit und Wiederholbarkeit

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Vakuum Katalog-3

BEI VAKUUMMOTOREN Die eisenlosen Vakuum-Linearmotoren der Generation 2 wurden unter Berücksichtigung der einzigartigen Herausforderungen von Vakuumanwendungen entwickelt und basieren auf jahrelanger Zusammenarbeit mit High-End-Unternehmen der Halbleiterbranche. Optimale thermische Eigenschaften, zusätzliche Sicherheit, hervorragende RGA-Leistung, geringere Ausgasung und Flexibilität beim Einbau machen die Generation 2-Vakuummotorserie zum Maßstab für Bewegung in Vakuumanwendungen. Mit mehreren Spulentypen und -größen bietet die Vakuum Generation 2-Serie immer den richtigen Direktantriebsmotor....

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Vakuum Katalog-4

Eisenlose Vakuum-Linearmotoren Um das Risiko unerwünschter chemischer Reaktionen, Prozessverunreinigung oder der Verschmutzung der Umgebungsausrüstung zu minimieren, erfordern immer mehr Hightech-Anwendungen Vakuumlösungen, wie z.B. Eine der größten Herausforderungen in einer Vakuumumgebung ist die Wärmeübertragung und Bewegung. Das geschlossene Design der Vakuummotoren der Generation 2 gewährleistet eine gute Wärmeableitung und eine optimale Montage. Diese Merkmale ermöglichen ein einfaches Systemdesign, das für die Integration mehrerer Motoren in einem System geeignet ist. Vakuum-Linearmotoren...

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Vakuum Katalog-5

U = Eisenlos M V = Serientyp/Vakuum 6 12 = Spulenanzahl S N = Spulentyp Die UMV-Spulen sind die kleinsten der vakuumtauglichen Linearmotorserie. vakuumtauglichen Linearmotorserie. Aufgrund der kurzen Länge besonders Die Vakuum UXXV-G2 Serie ist ideal für werden häufig für Anwendungen verwendet, geeignet für geringe Lasten und beengte die eine Spitzenkraft oder eine geringe Präzision und maximale Kraftabgabe erfordern, Wärmeabgabe erfordern, z.B. in Lithografie- Bei längeren Hüben können ULV – G2 Anwendungen, die extreme Genauigkeit Motorkonstante ermöglichen eine geringe Spuleneinheiten kombiniert...

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Vakuum Katalog-6

Der Edelstahlstreifen am Gehäuse der Spuleneinheit macht die Installation einfach, zuverlässig und wiederholbar. Zusammen mit den standardmäßigen freien Kabelenden bietet dies die Möglichkeit, dass für Ihre Anwendung am besten geeignete Kabelmanagement zu entwickeln. Einzigartiges Design Vollständig geschlossen, um Ausgasung zu verhindern Eigenschaften und Ausgasung > Spuleneinheit und Joch sind vollständig vakuumtauglich > Typische Gesamtausgasung von 10-5 mbar*l/s > Typische CxHx-Ausgasung von 10-8 mbar*l/s Geringer thermischer Widerstand (Rth)I' Die RGA-Leistung ist hervorragend, da die Spuleneinheiten...

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Vakuum Katalog-7

Leistung Vakuumtaugliche Anschlusskabel Sensor Temperaturmess- und Abschaltsensor Tecnotion befolgt ein strenges Produktions- und Reinigungsprotokoll um ein hohes Maß an Reinheit zu erreichen. Alle Produkte werden einer Endkontrolle unterzogen, um sicherzustellen, dass sie den strengen Reinheitsanforderungen entsprechen. Nach ihrer Freigabe werden alle Produkte sicher verpackt, um deren Reinheit bis zum Zeitpunkt der Installation zu gewährleisten. Lebensdauer Nachgewiesene hohe Langlebigkeit durch interne Lebensdauertests Hergestellt im eigenen Reinraum Die geschlossenen Spuleneinheiten verfügen...

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Vakuum Katalog-8

UMV - G2 Eisenlose Vakuum Serie Bemerkung Symbol Einheit Abmessungen der Magnetjoche Magnetjoche können aneinander montiert werden. 1 Abhängig von den Umgebungsbedingungen der Applikation. Die angegebene Dauerkraft wurde mit einem Thermischen Widerstand für passive Kühlung und einer Vakuumkammerwand von 40°C ermittelt. 2 Abhängig von den Umgebungsbedingungen der Applikation. Die angegebene Dauerkraft wurde bei einem Wärmewiderstand von 0,02 K/W und einer Montagefläche von 20°C ermittelt, wenn der Motor mit Dauerstrom betrieben wird. 3 Tatsächliche Werte hängen von der Busspannung ab.

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Vakuum Katalog-9

Montageanleitungen und Hinweise zur Ebenheit/Parallelität finden Sie im Installationsmanual für Vakuummotoren, CAD Daten sind zum Download auf unserer Website verfügbar. 9 ©2025 Tecnotion - Alle Rechte vorbehalten. Irrtümer und technische Änderungen vor

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Vakuum Katalog-10

ULV - G2 Eisenlose Vakuum Serie Bemerkung Symbol Einheit ULV9 G2 Magnetjoche können aneinander montiert werden. 1 bCNOTION direct drive in motion 1 Abhängig von den Umgebungsbedingungen der Applikation. Die angegebene Dauerkraft wurde mit einem Thermischen Widerstand für passive Kühlung und einer Vakuumkammerwand von 40aC ermittelt. 2 Abhängig von den Umgebungsbedingungen der Applikation. Die angegebene Dauerkraft wurde bei einem Wärmewiderstand von 0,02 K/W und einer Montagefläche von 20°C ermittelt, wenn der Motor mit Dauerstrom betrieben wird. 3 Tatsächliche Werte hängen von der Busspannung...

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Vakuum Katalog-11

273 SPULENEINHEIT ULV9 G2 Montageanleitungen und Hinweise zur Ebenheit/Parallelität finden Sie im Installationsmanual für Vakuummotoren, CAD Daten sind zum Download auf unserer Website verfügbar. 11 ©2025 Tecnotion - Alle Rechte vorbehalten. Irrtümer und technische Änderungen vor

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Vakuum Katalog-12

UXXV - G2 Eisenlose Vakuum Serie Bemerkung Symbol Einheit Magnetjoche können aneinander montiert werden. 0.8 (26) 12 1 tCNOTION direct drive in motion 1 Abhängig von den Umgebungsbedingungen der Applikation. Die angegebene Dauerkraft wurde mit einem Thermischen Widerstand für passive Kühlung und einer Vakuumkammerwand von 40°C ermittelt. 2 Abhängig von den Umgebungsbedingungen der Applikation. Die angegebene Dauerkraft wurde bei einem Wärmewiderstand von 0,02 K/W und einer Montagefläche von 20°C ermittelt, wenn der Motor mit Dauerstrom betrieben wird. 3 Tatsächliche Werte hängen von der Busspannung...

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Vakuum Katalog-13

Montageanleitungen und Hinweise zur Ebenheit/Parallelität finden Sie im Installationsmanual für Vakuummotoren, CAD Daten sind zum Download auf unserer Website verfügbar. 13 ©2025 Tecnotion - Alle Rechte vorbehalten. Irrtümer und technische Änderungen vor

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.