VSL - Smartline Vakuum-Transmitter Piezo / Pirani Absolutdruck 1200 ... 1 x 10 -4 mbar Relativdruck -1060 ... +340 mbar Zwei Piezosensoren messen Absolut- und Relativdruck für die Überwachung des Abpump- und Belüftungsvorgangs der Kammer/Schleuse. Ein Piranisensor mit einem Messbereich bis 10 mbar kontrolliert den Niederdruck-Transfer zwischen Loadlock und Prozesskammer für bestmögliche Prozessreinheit Kurze Reaktionszeit bis zu 40 ms Differenzdruckausgang für präzises Auslösen der Door-Open-Funktion Hohe Genauigkeit, optimale Auflösung und exzellente Stabilität Stabile Messwerte durch optimierte Temperaturkompensation Messungen über 20 mbar gasartunabhängig Überblick Smartline Vakuumtransmitter n Digitale RS485 Schnittstelle plus 0-10 V Ausgangssignal, EtherCAT oder PROFINET, BluetoothAdapter SLKBT für kabellose Kommunikation PROFINET-Transmitter unterstützen MRP Einfach austauschbare Ersatz-Sensorköpfe mit gespeicherten Kalibrierdaten Großes LCD-Display (ausgen. EtherCAT, PROFINET) Abgleich auf Nulldruck und Atmosphäre per Tastendruck oder Schnittstelle LEDs für Statusanzeige und Schaltpunkte Zwei unabhängige, potentialfreie Relaisschaltpunkte (ausgen. EtherCAT, PROFINET) Schutzart bis IP54 0-10 V Ausgangssignal entsprechend gewünschter Kennlinie skalierbar, Austausch vorhandener Vakuummessgeräte herstellerunabhängig, einfach und ohne Programmieraufwand Intelligente Sensoren für vereinfachte Integration nach Industrie 4.0 Standards Durch metallgedichtete Edelstahlmesszelle UHVgeeignet (He-Leckrate <5e-10 mbar l / s) Erweiterung durch 2-Kanal-Controller VD12 oder 4-Kanal-Controller VD14 möglich VacuGraph Windows Software zur Visualisierung, Analyse und Speicherung von Messdaten TM

VSL - Smartline Vakuum-Transmitter Piezo / Pirani Absolutdruck 1200 bis 1 x 10 -4 mbar Relativdruck -1060... +340 mbar Technische Daten Messprinzip Piezoresistiv / Wärmeleitfähigkeit Pirani (Pirani, gasartabhängig) Absolut: 1200 - 1e-4 mbar (900 - 1e-4 Torr) Relativ: -1060... +340 mbar (-795... +255 Torr) (abh. v. Umgebungsdruck) Absolut: 1200 - 40 mbar: 0,3 % f. s. 40 - 2e-3 mbar: 10 % f. r. Relativ: 0,25 % der Mess-Spanne Edelstahl 1,4307, Wolfram, Nickel, Glas, Gold, Siliziumoxid Max. 125 °C am Flansch (Spannungsversorgung ausgeschaltet) Max. 2,5 W, zusätzlich 0,8 W für EtherCAT / Relais /LCD,...

VSL - Smartline Vakuum-Transmitter Piezo / Pirani Absolutdruck 1200 bis 1 x 10 -4 mbar Relativdruck -1060... +340 mbar VSL53DL DN16 ISO-KF, 0-10 V und RS485, mit LCD Display VSL54DL DN16 CF-F, 0-10 V und RS485, mit LCD Display VSL53E VS´ 54E L DN16 ISO-KF, EtherCAT und RS485 DN16 CF-F, EtherCAT und RS485 VSL53PN DN16 ISO-KF, Profinet und RS485 VSL54PN DN16 CF-F, Profinet und RS485 Austauschsensoren: B_VSL53, B_VSL54 SLZUB Zubehörset: SLCASE Schutzkoffer , SLN4 Steckernetzteil, SLKUSB Schnittstellenkonverter RS485-USB, VGR VacuGraph Software (Lite-Version) Weiteres Zubehör sowie ausführliche Informationen...