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VSL

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VSL

Zusammenfassung des Produktkatalogs

Übersicht: Der technische Dokument beschreibt die Eigenschaften und Funktionen der Smartline Vakuumtransmitter, die mit verschiedenen Schnittstellen wie RS485, EtherCAT und PROFINET ausgestattet sind. Diese Geräte bieten eine Vielzahl von Funktionen zur Druckmessung und -überwachung in industriellen Anwendungen.

Hauptmerkmale:

Digitale RS485-Schnittstelle mit 0-10 V Ausgangssignal, optional EtherCAT oder PROFINET.
Bluetooth-Adapter für kabellose Kommunikation.
Unterstützung von MRP durch PROFINET-Transmitter.
Einfach austauschbare Sensorköpfe mit gespeicherten Kalibrierdaten.
Großes LCD-Display (außer bei EtherCAT und PROFINET).
Abgleich auf Nulldruck und Atmosphäre per Tastendruck oder Schnittstelle.
LEDs zur Statusanzeige und für Schaltpunkte.
Zwei unabhängige, potentialfreie Relaisschaltpunkte (außer bei EtherCAT und PROFINET).
Schutzart bis IP54.
Skalierbares 0-10 V Ausgangssignal, herstellerunabhängiger Austausch von Vakuummessgeräten ohne Programmieraufwand.
Intelligente Sensoren für Industrie 4.0 Integration.
Metallgedichtete Edelstahlmesszelle, geeignet für UHV (He-Leckrate <5e-10 mbar l/s).
Erweiterbar durch 2-Kanal-Controller VD12 oder 4-Kanal-Controller VD14.

Technische Daten:

Messprinzip: Piezoresistiv / Wärmeleitfähigkeit Pirani.
Messbereich: Absolutdruck 1200 bis 1 x 10^-4 mbar, Relativdruck -1060 bis +340 mbar.
Genauigkeit: Absolutdruck 1200 - 40 mbar: 0,3 % f.s., 40 - 2e-3 mbar: 10 % f.r.
Reaktionszeit: 40 ms.
Betriebstemperatur: +5 bis +60°C (Profinet +5 bis +50°C).
Spannungsversorgung: 20 - 30 VDC, max. Leistungsaufnahme 2,5 W.
Ausgangssignal: 0-10 VDC, digitale Schnittstelle RS485, EtherCAT, Profinet.
Schaltausgänge: 2x Relais, potentialfrei.
Elektrischer Anschluss: RS485/0-10V: SubD, 15-polig, männlich.
Vakuumanschluss: DN 16 ISO-KF (VSL53), DN 16 CF-F (VSL54).
Gewicht: Ca. 195 g (VSL53D).

Modelle:

VSL53D: DN16 ISO-KF, 0-10 V und RS485.
VSL54D: DN16 CF-F, 0-10 V und RS485.
VSL53DL: DN16 ISO-KF, 0-10 V und RS485, mit LCD Display.
VSL54DL: DN16 CF-F, 0-10 V und RS485, mit LCD Display.
VSL53E: DN16 ISO-KF, EtherCAT und RS485.
VSL54E: DN16 CF-F, EtherCAT und RS485.
VSL53PN: DN16 ISO-KF, Profinet und RS485.
VSL54PN: DN16 CF-F, Profinet und RS485.

Zubehör:

Austauschsensoren: B_VSL53, B_VSL54.
SLZUB Zubehörset: SLCASE Schutzkoffer, SLN4 Steckernetzteil, SLKUSB Schnittstellenkonverter RS485-USB, VGR VacuGraph Software (Lite-Version).

Katalogauszüge

VSL - Smartline Vakuum-Transmitter Piezo / Pirani Absolutdruck 1200 ... 1 x 10 -4 mbar Relativdruck -1060 ... +340 mbar Zwei Piezosensoren messen Absolut- und Relativdruck für die Überwachung des Abpump- und Belüftungsvorgangs der Kammer/Schleuse. Ein Piranisensor mit einem Messbereich bis 10 mbar kontrolliert den Niederdruck-Transfer zwischen Loadlock und Prozesskammer für bestmögliche Prozessreinheit Kurze Reaktionszeit bis zu 40 ms Differenzdruckausgang für präzises Auslösen der Door-Open-Funktion Hohe Genauigkeit, optimale Auflösung und exzellente Stabilität Stabile Messwerte durch optimierte Temperaturkompensation Messungen über 20 mbar gasartunabhängig Überblick Smartline Vakuumtransmitter n Digitale RS485 Schnittstelle plus 0-10 V Ausgangssignal, EtherCAT oder PROFINET, BluetoothAdapter SLKBT für kabellose Kommunikation PROFINET-Transmitter unterstützen MRP Einfach austauschbare Ersatz-Sensorköpfe mit gespeicherten Kalibrierdaten Großes LCD-Display (ausgen. EtherCAT, PROFINET) Abgleich auf Nulldruck und Atmosphäre per Tastendruck oder Schnittstelle LEDs für Statusanzeige und Schaltpunkte Zwei unabhängige, potentialfreie Relaisschaltpunkte (ausgen. EtherCAT, PROFINET) Schutzart bis IP54 0-10 V Ausgangssignal entsprechend gewünschter Kennlinie skalierbar, Austausch vorhandener Vakuummessgeräte herstellerunabhängig, einfach und ohne Programmieraufwand Intelligente Sensoren für vereinfachte Integration nach Industrie 4.0 Standards Durch metallgedichtete Edelstahlmesszelle UHVgeeignet (He-Leckrate <5e-10 mbar l / s) Erweiterung durch 2-Kanal-Controller VD12 oder 4-Kanal-Controller VD14 möglich VacuGraph Windows Software zur Visualisierung, Analyse und Speicherung von Messdaten TM

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VSL - Smartline Vakuum-Transmitter Piezo / Pirani Absolutdruck 1200 bis 1 x 10 -4 mbar Relativdruck -1060... +340 mbar Technische Daten Messprinzip Piezoresistiv / Wärmeleitfähigkeit Pirani (Pirani, gasartabhängig) Absolut: 1200 - 1e-4 mbar (900 - 1e-4 Torr) Relativ: -1060... +340 mbar (-795... +255 Torr) (abh. v. Umgebungsdruck) Absolut: 1200 - 40 mbar: 0,3 % f. s. 40 - 2e-3 mbar: 10 % f. r. Relativ: 0,25 % der Mess-Spanne Edelstahl 1,4307, Wolfram, Nickel, Glas, Gold, Siliziumoxid Max. 125 °C am Flansch (Spannungsversorgung ausgeschaltet) Max. 2,5 W, zusätzlich 0,8 W für EtherCAT / Relais /LCD,...

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VSL - Smartline Vakuum-Transmitter Piezo / Pirani Absolutdruck 1200 bis 1 x 10 -4 mbar Relativdruck -1060... +340 mbar VSL53DL DN16 ISO-KF, 0-10 V und RS485, mit LCD Display VSL54DL DN16 CF-F, 0-10 V und RS485, mit LCD Display VSL53E VS´ 54E L DN16 ISO-KF, EtherCAT und RS485 DN16 CF-F, EtherCAT und RS485 VSL53PN DN16 ISO-KF, Profinet und RS485 VSL54PN DN16 CF-F, Profinet und RS485 Austauschsensoren: B_VSL53, B_VSL54 SLZUB Zubehörset: SLCASE Schutzkoffer , SLN4 Steckernetzteil, SLKUSB Schnittstellenkonverter RS485-USB, VGR VacuGraph Software (Lite-Version) Weiteres Zubehör sowie ausführliche Informationen...

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