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TRUMPF Power electronics
DC-Generatoren TruPlasma Bias Serie 3000/4000

DC-Generatoren TruPlasma Bias Serie 3000/4000

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DC-Generatoren TruPlasma Bias Serie 3000/4000

Zusammenfassung des Produktkatalogs

Einleitung
Die TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000 ist eine Familie von Generatoren, die für den Einsatz als reguläre und gepulste Biasquellen in industriellen Plasmaprozessen entwickelt wurden. Sie bieten zwei Betriebsmodi: Hochspannungsmodus (HV) bis zu 1.200 V und Niedrigspannungsmodus (LV) bis zu 300 V.

Einsatzgebiete
Die Hauptanwendungen umfassen metallisches Sputtern, Materialvorbehandlung und Trockenätzen. Die Geräte sind für Anwendungen mit vergleichbaren Anforderungen an Spannung und Strom geeignet.

Technologie und Management
Die Serie nutzt DSP-Technik und FPGA-Signalauswertung für ein modernes Arc-Management, das hohe Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit bietet. Digitale Rückmeldungen und fortschrittliche Analysewerkzeuge ermöglichen eine genaue Überwachung des Plasmazustands.

Leistungsmerkmale

Leistungen von 3 bis 26 kW
Paralleler Betrieb zur Leistungserhöhung oder für redundante Installationen
Standard-Datenschnittstellen

Nutzen

Gleichbleibend gute Prozessbedingungen
Vereinfachtes Systemhandling
Optimale Substratausbeute
Sehr gutes Ertrag-zu-Ausschuss-Verhältnis

Eigenschaften

Erhöhte Spannungsstabilität
Zwei separate Spannungsmodi
Geringstmögliche Arc-Energie
Anpassbare Frequenz und variable Pulsparameter

Technische Daten

Ausgangsleistung: 3 kW, 12 kW, 18 kW, 26 kW
Ausgangsspannung: HV bis zu 1.200 V, LV bis zu 300 V
Wirkungsgrad: 90 % – 94 %
Regulierung bei Netzschwankungen: ± 10 %
Genauigkeit: ± 0,5 %
Wiederholgenauigkeit: ± 0,2 %

Zusätzliche Parameter für Serie 4000

Pulsfrequenz: 0 kHz – 100 kHz
Einschaltdauer: 10 % – 90 %

Umgebungsbedingungen

Temperatur: +5 °C bis +35 °C Betrieb, -25 °C bis +55 °C Lagerung
Max. Luftfeuchtigkeit: 80 % keine Betauung
Max. Einsatzhöhe: 2.000 m über NN

Schnittstellen und Abmessungen

Analog/Digital, RS 232/RS 485, PROFIBUS
Abmessungen: TruPlasma Bias Serie 3000: 483 mm x 178 mm x 675 mm, TruPlasma Bias Serie 4000: 483 mm x 267 mm x 675 mm
Gewicht: TruPlasma Bias Serie 3000: 40 kg, TruPlasma Bias Serie 4000: 60 kg

Katalogauszüge

DC-Generatoren TruPlasma Bias Serie 3000/4000-1

TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000 Große Dinge unterstützen.

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DC-Generatoren TruPlasma Bias Serie 3000/4000-2

TRUMPF Hüttinger Plasmaanregung: Mehr aus Werkzeugen machen. Jedem Sputterprozess seine Bias-Unterstützung. TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000. Die Generatorenfamilie TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000 wurde für den Einsatz als reguläre und gepulste Biasquellen in industriellen Plasmaprozessen entwickelt. Dabei verfügen sie über zwei Betriebsmodi: Hochspannungsmodus (HV) mit bis zu 1 200 Volt (V) und Niedrigspannungsmodus mit bis zu 300 V. Primäre Einsatzgebiete dieser Produkte sind metallisches Sputtern, Materialvorbehandlung und Trockenätzen. Darüber hinaus passen sie für jede Anwendung mit vergleichbaren...

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DC-Generatoren TruPlasma Bias Serie 3000/4000-3

TruPlasma Bias Serie 3000 TruPlasma Bias Serie 40001 Var. Ux Schwelle: 0 V – 600 V Var. lx Schwelle: 10 % – 100 % der Nennspannung Dynamische Spannungsveränderung Imax Erkennung Spannung, Strom Regulierung bei Netzschwankungen ± 10 % Last 10 % – 90 % Eingangsdaten Netzspannung Netzfrequenz Zusätzliche Parameter für TruPlasma Bias Serie 4000 Pulsfrequenz Einschaltdauer (Zyklusbetrieb) TruPlasma Bias 4000 ist in einigen Ausführungen in US, JP, CH, DE, FR, GB, IT, LI nicht erhältlich. Leistung / Nennspannung Max. Ausgangsstrom LV Modus Beschichten Uset Zeit HV Modus Vorbehandlung (Ionen-Ätzen, Glühen...

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DC-Generatoren TruPlasma Bias Serie 3000/4000-4

TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000 Kühldaten Kühlsystem Umluftkühlung / Lüftersteuerung Umgebungsbedingungen Temperatur 2) Spezielle Varianten für ein höheres Einsatzgebiet auf Anfrage verfügbar. Schnittstellen Analog / Digital Abmessungen ( B x H x T) TruPlasma Bias Serie 30004 TruPlasma Bias Serie 40004 Gewicht TruPlasma Bias Serie 30005 TruPlasma Bias Serie 40005 4) Die Werte geben Minimalabmessungen an. Höhe und Tiefe abhängig von der Ausführung. 5) Die Werte geben das Minimalgewicht an. Abhängig von der Ausführung.

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TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000

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