DC-Generatoren TruPlasma Biploar Serie 4000 (G2)
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TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Generating waveforms.

Flexible Lösungen. Äußerste Genauigkeit. Höchstleistung für reaktives Sputtern, Sputtern von anspruchsvollen Materialien und PECVD-Prozesse. Die Prozessstromversorgungen der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) eignen sich hervorragend für die plasmagestützte Beschichtung mittels PECVD- und Dual-Kathoden-Sputterprozessen. Zuverlässigkeit und Leistung spielen hierbei eine entscheidende Rolle. Typische Einsatzgebiete sind die Halbleitertechnologie, die Architekturglasbeschichtung, die Photovoltaik-Produktion sowie die Aufbringung dekorativer und verschleißfester Schichten als auch die...

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Arc-Erkennung – Kriterien Leistung, Spannung, Strom Regulierung bei Netzschwankungen ± 10 % Last 10 % – 100 % lmax Erkennung Anpassbare Stromschwelle [in %] Automatikmodus oder [A] Manueller Modus Dynamische Spannungsveränderung Anpassbare Spannungsschwelle [in %] Für Spannungsabfälle > 100 V Usag Erkennung Anpassbare Spannungsschwelle [in %] Für Spannungsabfälle < 100 V Dynamische Kreuzerkennung: Automatisch Anpassbare Spannungsschwelle [V] und Stromschwelle [A] überwacht Ausgangsspannung und Strom Stapeln von Geräten für größere Leistung Pulsparameter...

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Bipolar Trapez Modus

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Umgebungsbedingungen Raumtemperatur Relative Luftfeuchtigkeit Schnittstellen Analog / Digital Abmessungen (H x B x T) TruPlasma Bipolar 4010 (G2) Gewicht TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)

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