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TRUMPF Power electronics
DC-Generatoren TruPlasma Biploar Serie 4000 (G2)

DC-Generatoren TruPlasma Biploar Serie 4000 (G2)

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DC-Generatoren TruPlasma Biploar Serie 4000 (G2)

Zusammenfassung des Produktkatalogs

Einleitung
Die TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) bietet flexible Lösungen mit höchster Genauigkeit und Leistung für reaktive Sputterprozesse, anspruchsvolle Materialbeschichtungen und PECVD-Prozesse. Diese Serie ist ideal für die Halbleitertechnologie, Architekturglasbeschichtung, Photovoltaik-Produktion und die Herstellung dekorativer, verschleißfester und optischer Schichten.

Technische Spezifikationen

Ausgangsleistung: 10 kW bis 60 kW
Ausgangsspannung: 1000 V (rms)
Ausgangsstrom: 25 A bis 150 A
Regelarten: Leistung, Spannung, Strom
Regulierung bei Netzschwankungen: ± 10 %
Genauigkeit: ± 0,5 %
Wiederholgenauigkeit: ± 0,2 %
Pulsfrequenz: 40 kHz fix, anpassbar bis zu 100 kHz

Besondere Merkmale

Äußerst geringe Arc-Energie
Ultraschneller digitaler Bedienstand
Über Software einstellbare Wellenformen
Innovatives Design der Leistungselektronik
DC-, gepulstes DC und Bipolar in einem Gerät
Vollständige Wasserkühlung

Vorteile

Hohe Schichtqualität und Produktivität
Stabiles Plasma, selbst bei reaktiven Prozessen
Einfache Anpassung an unterschiedliche Prozessanforderungen
Hohe mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen (MTBF)
Flexibilität und niedrige Gesamtbetriebskosten (TCO)
Kompaktes, vor Umwelteinflüssen geschütztes Maschinengehäuse

Kühldaten

Max. Wasserdruck: Bis 7 bar
Min. Differenzdruck: 2 bar
Wasserfluss: 4 l/min – 12 l/min
Max. Kühlwassertemperatur: Bis +35 °C

Umgebungsbedingungen

Raumtemperatur: +5 °C bis +45 °C Betrieb, -25 °C bis +55 °C Lagerung
Relative Luftfeuchtigkeit: 5 % – 85 % keine Betauung
Luftdruck: 860 hPa – 1 060 hPa

Schnittstellen

Analog / Digital: 25-polig Sub-D
RS 232 / RS 485: 9-polig Sub-D
PROFIBUS: 9-polig Sub-D
EtherCAT: RJ45
DeviceNet: 5-pin DeviceNet Connector

Abmessungen und Gewicht

TruPlasma Bipolar 4010 (G2): 482 x 178 x 683 mm
TruPlasma Bipolar 4020 (G2): 482 x 266 x 683 mm
TruPlasma Bipolar 4030 (G2): 482 x 355 x 683 mm
TruPlasma Bipolar 4040 (G2): 482 x 355 x 683 mm
TruPlasma Bipolar 4060 (G2): 482 x 622 x 683 mm
Gewicht: 50 kg – 160 kg

Katalogauszüge

DC-Generatoren TruPlasma Biploar Serie 4000 (G2)-1

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Generating waveforms.

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DC-Generatoren TruPlasma Biploar Serie 4000 (G2)-2

Flexible Lösungen. Äußerste Genauigkeit. Höchstleistung für reaktives Sputtern, Sputtern von anspruchsvollen Materialien und PECVD-Prozesse. Die Prozessstromversorgungen der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) eignen sich hervorragend für die plasmagestützte Beschichtung mittels PECVD- und Dual-Kathoden-Sputterprozessen. Zuverlässigkeit und Leistung spielen hierbei eine entscheidende Rolle. Typische Einsatzgebiete sind die Halbleitertechnologie, die Architekturglasbeschichtung, die Photovoltaik-Produktion sowie die Aufbringung dekorativer und verschleißfester Schichten als auch die Herstellung...

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DC-Generatoren TruPlasma Biploar Serie 4000 (G2)-3

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Arc-Erkennung – Kriterien Leistung, Spannung, Strom Regulierung bei Netzschwankungen ± 10 % Last 10 % – 100 % lmax Erkennung Anpassbare Stromschwelle [in %] Automatikmodus oder [A] Manueller Modus Dynamische Spannungsveränderung Anpassbare Spannungsschwelle [in %] Für Spannungsabfälle > 100 V Usag Erkennung Anpassbare Spannungsschwelle [in %] Für Spannungsabfälle < 100 V Dynamische Kreuzerkennung: Automatisch Anpassbare Spannungsschwelle [V] und Stromschwelle [A] überwacht Ausgangsspannung und Strom Stapeln von Geräten für größere Leistung Pulsparameter Pulsfrequenz...

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DC-Generatoren TruPlasma Biploar Serie 4000 (G2)-4

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Bipolar Trapez Modus

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DC-Generatoren TruPlasma Biploar Serie 4000 (G2)-5

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Umgebungsbedingungen Raumtemperatur Relative Luftfeuchtigkeit Schnittstellen Analog / Digital Abmessungen (H x B x T) TruPlasma Bipolar 4010 (G2) Gewicht TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)

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DC-Generatoren TruPlasma Biploar Serie 4000 (G2)-8

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TruPlasma RF Series 1000 / 3000
4 Seiten

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