TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Generating waveforms.
Katalog auf Seite 1 öffnenFlexible Lösungen. Äußerste Genauigkeit. Höchstleistung für reaktives Sputtern, Sputtern von anspruchsvollen Materialien und PECVD-Prozesse. Die Prozessstromversorgungen der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) eignen sich hervorragend für die plasmagestützte Beschichtung mittels PECVD- und Dual-Kathoden-Sputterprozessen. Zuverlässigkeit und Leistung spielen hierbei eine entscheidende Rolle. Typische Einsatzgebiete sind die Halbleitertechnologie, die Architekturglasbeschichtung, die Photovoltaik-Produktion sowie die Aufbringung dekorativer und verschleißfester Schichten als auch die Herstellung...
Katalog auf Seite 2 öffnenTruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Arc-Erkennung – Kriterien Leistung, Spannung, Strom Regulierung bei Netzschwankungen ± 10 % Last 10 % – 100 % lmax Erkennung Anpassbare Stromschwelle [in %] Automatikmodus oder [A] Manueller Modus Dynamische Spannungsveränderung Anpassbare Spannungsschwelle [in %] Für Spannungsabfälle > 100 V Usag Erkennung Anpassbare Spannungsschwelle [in %] Für Spannungsabfälle < 100 V Dynamische Kreuzerkennung: Automatisch Anpassbare Spannungsschwelle [V] und Stromschwelle [A] überwacht Ausgangsspannung und Strom Stapeln von Geräten für größere Leistung Pulsparameter Pulsfrequenz...
Katalog auf Seite 3 öffnenTruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Bipolar Trapez Modus
Katalog auf Seite 4 öffnenTruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) Umgebungsbedingungen Raumtemperatur Relative Luftfeuchtigkeit Schnittstellen Analog / Digital Abmessungen (H x B x T) TruPlasma Bipolar 4010 (G2) Gewicht TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
Katalog auf Seite 5 öffnen© TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG, 2015. Alle Rechte vorbehalten. Fehler und technische Änderungen vorbehalten. 1797458 - V04 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Bötzinger Straße 80 · 79111 Freiburg · Telefon +49 761 8971-0 Fax +49 761 8971-1150 · E-Mail [email protected] Homepage www.trumpf-huettinger.com
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