DC-Generatoren TruPlasma DC Serie 3000 (G2)
8Seiten

TruPlasma DC Serie 3000 Serie 3000 (G2)

TRUMPF Hüttinger – Innovationen auf einer höheren Ebene. Auf dem neuesten Stand der Technik: Lösungen für DC-Sputterprozesse. TruPlasma DC Serie 3000. Die TruPlasma DC Serie 3000 wurde für eine Vielzahl an Sputterprozessen entwickelt. Mit einer neuen Generation wassergekühlter Geräte bietet TRUMPF Hüttinger in dieser DC-Produktfamilie nun eine technologisch marktführende Stromversorgung an, die in vielen Sputterapplikationen gepulste DC-Generatoren ersetzen kann. Die Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 sind mit Ausgangsleistungen von 2 bis 160 Kilowatt (kW) erhältlich. Sie liefern ihre...

TruPlasma DC Serie 3000 (luftgekühlt) TruPlasma DC Serie 3000 (G2) (wassergekühlt) Leistung, Spannung, Strom, SimReg Leistung, Spannung, Strom, SimReg Regelung bei Netzschwankung ± 10 %, bei Last 10 % – 90 % Regelung bei Netzschwankung ± 10 %, bei Last 10 % – 90 % Imax Erkennung Imax Erkennung Dynamische Spannungsveränderung Dynamische Spannungsveränderung 2) Auf Anfrage für ausgewählte Modelle verfügbar. Standard: 2 kARC/s 3) Optional für alle Modelle verfügbar. Standard: 2 kARC/s II DC-Nennausgangsleistung III Maximale DC-Ausgangsspannung a) Anpassbare Zündspannung. luftgekühlte Variante...

Kühldaten Lufgekühlte Variante Kühlsystem Umluftkühlung / Lüftersteuerung Wassergekühlte Variante Max. Eingangsdruck Umgebungsbedingungen Temperatur 4) Max. 2 000 m über NN. Geräte für höhere Einsatzhöhen auf Anfrage erhältlich. Schnittstellen Analog / Digital 25-polig Sub-D (luftgekühlt) 15-polig Sub-D (wassergekühlt) Schutzart Luftgekühlte Variante Wassergekühlte Variante Kennzeichnung Konformitätserklärung auf Anfrage erhältlich

6) Master / Slave Konfiguration. 7) Abmessungen für einzelne Einheiten angegeben.

Luftgekühlte Variante TruPlasma DC 3005 Wassergekühlte Variante TruPlasma DC 3020 (G2) 704 mm 610 mm

© TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG, 2015. Alle Rechte vorbehalten. Fehler und technische Änderungen vorbehalten. 1419230 - V09 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Bötzinger Straße 80 · 79111 Freiburg · Telefon +49 761 8971-0 Fax +49 761 8971-1150 · E-Mail Info.Elektronik@de.trumpf.com Homepage www.trumpf-huettinger.com