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DC-Generatoren TruPlasma DC Serie 3000 (G2)
DC-Generatoren TruPlasma DC Serie 3000 (G2)
Die TruPlasma DC Serie 3000 von TRUMPF Hüttinger bietet fortschrittliche Lösungen für DC-Sputterprozesse. Diese Serie umfasst wassergekühlte Geräte, die technologisch führend sind und in vielen Anwendungen gepulste DC-Generatoren ersetzen können.
Die Generatoren sind mit Ausgangsleistungen von 2 bis 160 kW erhältlich und bieten konstante Leistung über einen breiten Lastanpassungsbereich. Sie sind ideal für industrielle Beschichtungsprozesse wie die Fertigung von Solarzellen und Architekturglas geeignet. Die Serie integriert das Arc-Management CompensateLine, das die Arc-Restenergie reduziert und optimale Schichtqualität sicherstellt.
- Kostengünstige Alternative zu gepulsten DC-Generatoren
- Erhöhter Produktionsertrag und homogene Schichten
- Einfache Systemintegration und reduzierte Wartung
- Minimale Arc-Restenergie und schnelle Erholzeiten
- Hohe Leistungsdichte bei kompakter Bauweise
- Bewährtes Design und vollständige Wasserkühlung
Es gibt luft- und wassergekühlte Varianten. Die wassergekühlte Generation reduziert die Arc-Energie signifikant und unterstützt eine Vielzahl von Schnittstellen für die Systemintegration.
Die Ausgangsleistung reicht von 2 kW bis 300 kW, mit einer Ausgangsspannung von bis zu 1.000 V und einem Strom von bis zu 750 A. Die Geräte bieten eine hohe Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit.
Die Arc-Erkennung erfolgt in weniger als 100 ns, und die CompensateLine kann bis zu 8 kARC/s erreichen.
Die Netzspannung beträgt 3 x 400 V bis 480 V, mit einem Wirkungsgrad von bis zu 92 % und einem Leistungsfaktor von über 0,96.
Die Geräte sind für Betriebstemperaturen von -25 °C bis +55 °C und eine relative Luftfeuchtigkeit von 5 % bis 85 % ohne Betauung ausgelegt.
Die Geräte bieten verschiedene Schnittstellen wie RS 232, RS 485, PROFIBUS und EtherCAT. Die Schutzart variiert zwischen IP 20 für luftgekühlte und IP 40 für wassergekühlte Varianten.
Katalogauszüge
TruPlasma DC Serie 3000 Serie 3000 (G2)
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TRUMPF Hüttinger – Innovationen auf einer höheren Ebene. Auf dem neuesten Stand der Technik: Lösungen für DC-Sputterprozesse. TruPlasma DC Serie 3000. Die TruPlasma DC Serie 3000 wurde für eine Vielzahl an Sputterprozessen entwickelt. Mit einer neuen Generation wassergekühlter Geräte bietet TRUMPF Hüttinger in dieser DC-Produktfamilie nun eine technologisch marktführende Stromversorgung an, die in vielen Sputterapplikationen gepulste DC-Generatoren ersetzen kann. Die Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 sind mit Ausgangsleistungen von 2 bis 160 Kilowatt (kW) erhältlich. Sie liefern ihre Leistung...
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TruPlasma DC Serie 3000 (luftgekühlt) TruPlasma DC Serie 3000 (G2) (wassergekühlt) Leistung, Spannung, Strom, SimReg Leistung, Spannung, Strom, SimReg Regelung bei Netzschwankung ± 10 %, bei Last 10 % – 90 % Regelung bei Netzschwankung ± 10 %, bei Last 10 % – 90 % Imax Erkennung Imax Erkennung Dynamische Spannungsveränderung Dynamische Spannungsveränderung 2) Auf Anfrage für ausgewählte Modelle verfügbar. Standard: 2 kARC/s 3) Optional für alle Modelle verfügbar. Standard: 2 kARC/s II DC-Nennausgangsleistung III Maximale DC-Ausgangsspannung a) Anpassbare Zündspannung. luftgekühlte Variante III...
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Kühldaten Lufgekühlte Variante Kühlsystem Umluftkühlung / Lüftersteuerung Wassergekühlte Variante Max. Eingangsdruck Umgebungsbedingungen Temperatur 4) Max. 2 000 m über NN. Geräte für höhere Einsatzhöhen auf Anfrage erhältlich. Schnittstellen Analog / Digital 25-polig Sub-D (luftgekühlt) 15-polig Sub-D (wassergekühlt) Schutzart Luftgekühlte Variante Wassergekühlte Variante Kennzeichnung Konformitätserklärung auf Anfrage erhältlich
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6) Master / Slave Konfiguration. 7) Abmessungen für einzelne Einheiten angegeben.
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Luftgekühlte Variante TruPlasma DC 3005 Wassergekühlte Variante TruPlasma DC 3020 (G2) 704 mm 610 mm
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Katalog auf Seite 8 öffnenAlle Kataloge und technischen Broschüren von TRUMPF Power electronics
TruPrint 30002 Seiten
TruHeat MF Serie 7000 (G2)2 Seiten
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Plasma Excitation16 Seiten
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TruPlasma RF Series 1000 / 30004 Seiten
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