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MF-Generatoren TruPlasma MF Serie 3000 / 7000

MF-Generatoren TruPlasma MF Serie 3000 / 7000

Zusammenfassung des Produktkatalogs
Einleitung
Die TruPlasma MF Serie 3000/7000 von TRUMPF Hüttinger bietet fortschrittliche Lösungen für die Plasmaanregung, die entscheidend für die Produktion von Solarzellen und Displays sind. Diese Generatoren sind besonders für die Beschichtung von Architekturglas geeignet, da sie hohe Leistungsdichten und Abscheidungsraten ermöglichen.
Technische Spezifikationen
  • TruPlasma MF Serie 3000: Leistungsbereich von 10 kW bis 40 kW, Frequenzen von 20 kHz bis 100 kHz. Kompakte Bauform für einfache Integration.
  • TruPlasma MF Serie 7000: Leistungsstufen von 25 kW bis 200 kW, Frequenzbereich von 20 kHz bis 70 kHz. Ideal für Architekturglasbeschichtungen und anspruchsvolle Beschichtungsprozesse.
Arc-Management
Die Serien verfügen über ein fortschrittliches Arc-Management mit SensorLine und DetectLine, das langzeitstabile Prozesse mit hohen Durchsätzen sicherstellt. Die Restenergie ist minimal, was die Effizienz bei kritischen Prozessen erhöht.
Prozess- und Anwendungsvielfalt
Die Generatoren sind vielseitig einsetzbar, von der Oberflächenaktivierung bis zu Sputter- und Glimmprozessen. Sie bieten eine breite Palette an Datenschnittstellen für umfassende Prozessdatensteuerung.
Kühlsystem und Umgebungsbedingungen
Die Geräte nutzen ein Wasserkühlsystem mit spezifischen Druck- und Temperaturanforderungen. Sie sind für den Betrieb in einem breiten Temperatur- und Luftfeuchtigkeitsbereich ausgelegt.
Abmessungen und Gewicht
Die Abmessungen variieren je nach Modell und Leistung, wobei die Serie 3000 kompakter ist als die Serie 7000. Das Gewicht reicht von 80 kg bis zu über 1900 kg.
Schlussfolgerung
Die TruPlasma MF Serien 3000 und 7000 bieten zuverlässige und wirtschaftliche Lösungen für die Plasmaanregung in verschiedenen industriellen Anwendungen. Ihre fortschrittlichen Technologien und flexiblen Einsatzmöglichkeiten machen sie zu einer erstklassigen Wahl für anspruchsvolle Beschichtungsprozesse.
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Katalogauszüge

MF-Generatoren TruPlasma MF Serie 3000 / 7000-1

TRUMPF Hüttinger generating confidence

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MF-Generatoren TruPlasma MF Serie 3000 / 7000-2

Zukunft braucht innovative Energiequellen: P l a s m a a n r e g u n g v o n T R U M P F H ü t t i n g e r. Neue Qualitäten durch geniales Arc-Management. TruPlasma MF Serie 3000 / 7000. Entscheidende Qualitätsanforderung bei der Produktion von Solarzellen und Displays ist der Auftrag ultra-dünner homogener Schichten. Hohe Leistungsdichten und Abscheidungsraten sind hingegen bei der Beschichtung von Architekturglas gefordert. Die TRUMPF Generatoren der TruPlasma MF Serie 3000 / 7000 bieten die zuverlässige und wirtschaftliche Lösung für diese Prozesse. TruPlasma MF Serie 3000 ist eine Reihe von...

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MF-Generatoren TruPlasma MF Serie 3000 / 7000-3

Regelung Leistung 1) 2 150 V – 4 200 V für TruPlasma MF 3010 / 3020 bei 15 A max. Ausgangsstrom verfügbar. 2) Werte entsprechen der Reihenfolge der Angaben unter “Ausgangsleistung“.

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MF-Generatoren TruPlasma MF Serie 3000 / 7000-4

< 5 mJ/kW (DetectLine) < 100 mJ/kW (SensorLine) 1) Werte entsprechen der Reihenfolge der Angaben unter “Ausgangsleistung“. Regelung Leistung Kathodenstrom Kathodenspannung

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MF-Generatoren TruPlasma MF Serie 3000 / 7000-5

1) 570 V – 1 100 V entsprechend Abgriff, 750 V – 1 450 V für TruPlasma MF 7100 / 7120 / 7150 verfügbar. 2) Werte entsprechen der Reihenfolge der Angaben unter “Ausgangsleistung“.

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MF-Generatoren TruPlasma MF Serie 3000 / 7000-6

Abmessungen (B x H x T), ohne Anschlüsse 8 l/min – 11 l/min (Serie 3000) 45 l/min – 62 l/min (Serie 7000 / 50 kHz) 21 l/min – 37 l/min (Serie 7000 / 70 kHz) Gewicht TruPlasma MF Serie 3000 Umgebungsbedingungen Temperatur +10 °C bis +45 °C Betrieb -20 °C bis +55 °C Lagerung1 -20 °C bis +70 °C Transport1 10 % – 90 % Betrieb 30 % – 95 % Lagerung 95 % Transport2 800 hPa bis 1 013 hPa Betrieb 800 hPa bis 1 013 hPa Lagerung 800 hPa bis 1 013 hPa Transport 1) Keine Betauung oder Vereisung. 2) Max. rel. Luftfeuchte wenn Gerätetemperatur langsam um 40 °C ansteigt oder wenn die Gerätetemperatur direkt...

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MF-Generatoren TruPlasma MF Serie 3000 / 7000-7

1. Hauptschalter 1. Hauptschalter mainmain switch switch interrupteur principal interrupteur principal 2. Netzanschluss 2. Netzanschluss mains connector mains connector alimentation alimentation 3. Kühlwasseranschluss G1/2G1/2 3. Kühlwasseranschluss (G3/8-Schlauch) (G3/8-Schlauch) A - Vorlauf A - Vorlauf B - Rücklauf B - Rücklauf colling water connections G1/2G1/2 colling water connections (G3/8 garden hose) (G3/8 garden hose) A - inlet inlet AB - outlet B - outlet raccord d'eau de refroidissement G1/2G1/2 raccord d'eau de refroidissement (G3/8 raccord de tuyau) (G3/8 raccord de tuyau) A - arrive...

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MF-Generatoren TruPlasma MF Serie 3000 / 7000-8

©TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG, 2013. Alle Rechte vorbehalten. Fehler und technische Änderungen vorbehalten. 1390376 - V06 Trumpf Hüttinger GmbH + Co. KG Bötzinger Straße 80 · 79111 Freiburg · Germany Telefon +49 761 8971-0 · Fax +49 761 8971-1150 [email protected] · www.trumpf-huettinger.com

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Archivierte Kataloge

* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.