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TRUMPF Power electronics
TruPlasma Highpulse Serie 4000

TruPlasma Highpulse Serie 4000

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TruPlasma Highpulse Serie 4000

Zusammenfassung des Produktkatalogs

Einleitung
Die TruPlasma Highpulse Serie 4000 wurde speziell für das Hochleistungs-Impuls-Magnetron-Sputtern entwickelt. Sie erzeugt ein extrem dichtes metallisches Plasma, das für hervorragende Beschichtungsergebnisse sorgt.

Technische Spezifikationen

Maximale Ausgangsleistung: 1 MW – 8 MW
Durchschnittliche Ausgangsleistung: Bis zu 20 kW
Maximale Ausgangsspannung: 1 kV bis 2 kV
Maximaler Ausgangsstrom: 1 kA, 3 kA, 4 kA
Wirkungsgrad: 90 % – 92 %
Pulsfrequenz: Bis zu 500 Hz
Pulsdauer: < 200 μs

Vorteile

Unübertroffene Flexibilität für Industrie und Forschung
Tropfenfreies Sputtern und minimale Oberflächendefekte
Leicht anpassbar an bestehende Kathodensysteme
Verhindert Arc-Schäden an Kathode und Beschichtung

Eigenschaften

Größte Leistungs-Bandweite für HIPIMS-Prozesse
Aktive Arc-Unterdrückung
Einstellbare Pulsdauer und -frequenz
Pulsregelung und -überwachung in Echtzeit

Kühldaten und Umgebungsbedingungen

Kühlsystem: Umluftkühlung
Max. Lufteingangstemperatur: +35 °C
Betriebstemperatur: +5 °C bis +35 °C
Lagerungstemperatur: -25 °C bis +55 °C
Max. Luftfeuchtigkeit: 80 % ohne Betauung
Max. Einsatzhöhe: 2.000 m über NN

Schnittstellen

Analog / Digital: 25-polig Sub-D
RS 232 / RS 485: 9-polig Sub-D
PROFIBUS: Optional verfügbar

Abmessungen und Gewicht

DC Einheit: 483 mm x 632 mm x 675 mm, Gewicht: 75 kg
Pulseinheit: 483 mm x 635 mm x 676 mm, Gewicht: 50 kg

Katalogauszüge

TruPlasma Highpulse Serie 4000 Hochdichtes Plasma für überlegene Beschichtungsresultate

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In Mikrosekunden erzeugt, jahrelang verschleißfest. Makellose Hartstoffbeschichtung durch TRUMPF Hüttinger Te c h n i k . Einwandfreie Schichten und Haftung. TruPlasma Highpulse Serie 4000. TDie Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 wurden speziell für das Hochleistungs-Impuls-Magnetron-Sputtern konstruiert. Impulse von bis zu 8 Megawatt erzeugen ein extrem dichtes metallisches Plasma. Hohe Ionenflüsse und ein hohes Ionen-Atom-Verhältnis bringen Materialschichten mit ausgezeichneten mechanischen Eigenschaften hervor. Hart, homogen und dicht. Ideal für funktionale und dekorative Anwendungen....

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TruPlasma Highpulse Serie 4000 Durchschnittliche Ausgangsleistung Regulierung bei Netzschwankungen ± 10 % Last 10 % – 90 % Pulsparameter Pulsfrequenz 1) Abhängig von der max. Kathodenleistung. 2) Abhängig von Ausführung. Imax Erkennung

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TruPlasma Highpulse Serie 4000

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TruPlasma Highpulse Serie 4000 Kühldaten Kühlsystem Umluftkühlung / Lüftersteuerung Umgebungsbedingungen Temperatur 3) Geräte für höhere Einsatzhöhen auf Anfrage erhältlich. Schnittstellen Analog / Digital 5) Die Werte geben das Minimalgewicht an. Abhängig von Ausführung.

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TruPlasma RF Series 1000 / 3000
4 Seiten

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