TruPlasma RF Series 1000 / 3000

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TruPlasma RF Series 1000 / 3000

Zusammenfassung des Produktkatalogs

Einleitung
Die TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 von TRUMPF Hüttinger bietet stabile Hochfrequenzleistung für PECVD-Prozesse, die in der Halbleiter- und Solarzellenherstellung eingesetzt werden. Diese Serie gewährleistet reproduzierbare Prozesse und hohe Produktivität durch innovative Technologien.

Technische Spezifikationen

Ausgangsleistung: 1 kW, 2 kW, 3 kW
Nennbetriebsfrequenz: 13.56 MHz ± 0.005 %
Pulsfrequenz: 10 Hz – 50 kHz
Wirkungsgrad: > 80 %
Stromaufnahme bei 208V: 12 A pro Phase

Besondere Merkmale

Hohe Regelgenauigkeit und Stabilität auch bei niedrigen Leistungen
Einzigartige Hochfrequenz-Combiner-Technik für stabile Energieversorgung
Echte 50-Ohm-Ausgangsimpedanz für flexible Kabellängen
Kompakte Bauweise für einfache Integration

Kühldaten

Kühlmedium: Wasser
Min. Durchflussmenge: 4.0 l/min
Kühlwassertemperatur: 5 °C – 35 °C

Schnittstellen

Analog: 0 – 10 VDC
Digital: PROFIBUS, RS 232 / RS 485, DeviceNet

Vorteile

Reduzierte Betriebskosten
Maximale Systemlaufzeit
Reproduzierbare Prozessergebnisse
Kostengünstige Systemintegration

Zertifikate

CE, SEMI S2, SEMI F47

Katalogauszüge

Stabile Prozesse für höchste Produktivität TRUMPF Hüttinger generating confidence

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Stabile HF-Leistung für höchste Produktivität in PECVD-Prozessen. TruPlasma RF Serie 1000 / 3000. Bei der Herstellung komplexer Mikrostrukturen sind reproduzierbare Prozesse der Schlüssel zu konsistenten Ergebnissen. Dank einer stabilen Ausgangsleistung und hoher Regelgenauigkeit bietet die TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 beste Voraussetzungen für den zuverlässigen Betrieb. Die Generatorserie eignet sich insbesondere für Plasmaanwendungen in der Herstellung von Halbleitern und Solarzellen. Typische Prozesse umfassen PECVD und PVD sowie Trockenätzverfahren. Dabei gewährleisten innovative Technologien...

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Nicht notwendig 3) Die Kühlwassertemperatur muss über dem Taupunkt der Umgebungsluft liegen. Schnittstelle Netzanschluss Harting Han modular plug 30 A (male) Schnittstelle HF-Ausgang Eingangsdaten Netzspannung Netzfrequenz Leistungsfaktor 4) Entweder PROFIBUS- oder RS-Schnittstelle erhältlich. 1) Bei voller Nennleistung. 2) Bei Fehlanpassung.

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