Stabile Prozesse für höchste Produktivität TRUMPF Hüttinger generating confidence

Stabile HF-Leistung für höchste Produktivität in PECVD-Prozessen. TruPlasma RF Serie 1000 / 3000. Bei der Herstellung komplexer Mikrostrukturen sind reproduzierbare Prozesse der Schlüssel zu konsistenten Ergebnissen. Dank einer stabilen Ausgangsleistung und hoher Regelgenauigkeit bietet die TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 beste Voraussetzungen für den zuverlässigen Betrieb. Die Generatorserie eignet sich insbesondere für Plasmaanwendungen in der Herstellung von Halbleitern und Solarzellen. Typische Prozesse umfassen PECVD und PVD sowie Trockenätzverfahren. Dabei gewährleisten innovative Technologien...

Nicht notwendig 3) Die Kühlwassertemperatur muss über dem Taupunkt der Umgebungsluft liegen. Schnittstelle Netzanschluss Harting Han modular plug 30 A (male) Schnittstelle HF-Ausgang Eingangsdaten Netzspannung Netzfrequenz Leistungsfaktor 4) Entweder PROFIBUS- oder RS-Schnittstelle erhältlich. 1) Bei voller Nennleistung. 2) Bei Fehlanpassung.

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