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transferventil

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transferventil

Zusammenfassung des Produktkatalogs

Hauptmerkmale:

Geeignet für SEMI-Anwendungen mit Wafergrößen von 200, 300 und 450 mm.
Verwendbar für Loadlock- und Prozesskammer-Isolation.
Partikel- und erschütterungsarm, wartungsfrei für über 5 Millionen Zyklen.
Servicefreundlich durch selbstjustierenden Teller.

Technische Spezifikationen:

Ventilreihe 022 und 032 mit doppeltwirkendem Pneumatikantrieb und Lagemelder.
Gehäusematerial: Aluminium oder nichtrostender Stahl.
Erfüllt die Normen SEMI E21-94 und SEMI E21.1-1296.
Verschiedene Öffnungsgrößen und Bestellnummern für unterschiedliche Typen (A, B, C).

Dichtungen und Materialien:

Dichtungen aus FKM (VITON), Gehäuseflanschdichtungen als O-Ring.
Gehäuse aus Aluminium EN AW-6082 oder nichtrostendem Stahl AISI 316L.
Weitere Materialien: PEEK, AISI 633, AISI 301.

Optionen und Zubehör:

Verschiedene Gehäuse- und Insert-Optionen, einschließlich Temperaturmanagement und Oberflächenbehandlung.
Verfügbare Zubehörteile wie Servicekits und Schnellverschlussoptionen.

Technische Daten:

Leitwert im Hochvakuum, Pressluftdruck, Schließ- und Öffnungszeiten sowie Gewicht für verschiedene Ventilgrößen spezifiziert.
Dichtheit und Druckbereich für verschiedene Materialien und Dichtungen angegeben.
Empfohlener Betriebsdruck und Temperaturbereiche für unterschiedliche Konfigurationen.

Abmessungen:

Detailierte Maße für Ventilreihe 022 und Insertreihe 032, einschließlich elektrischer Anschlüsse und Lagemelder.

Katalogauszüge

Transferventil / -insert MONOVAT Àusserst servicefreundlich dank selbstjustierendem Teller Aluminium oder nichtrostender Stahl mit Impulssteuerventil: 022 . . -. . 44 (Steuerspannung angeben) Weitere Öffnungsgrössen: siehe «Optionen» mit Impulssteuerventil: 032 . . -. . 44 (Steuerspannung angeben) Weitere Öffnungsgrössen und Insert-Typen: siehe «Optionen»

Katalog auf Seite 1 öffnen

Teller: FKM (VITON, vulkanisiert) Kopfflansch: FKM (VITON, O-Ring) Gehâuseflansch (sitzseitig): Balgdurchführung (Membranbalg) ¡nnenliegend, geschützt dichtung A-Seite dichtflache B-Seite Kompaktes Design Modulare Bauweise, gleicher Antrieb für unterschiedliche Ventilgrössen Wartungsfreier Antrieb, selbstjustierender Teller ohne lose Befestigungsteile Offnung auf Ruckseite grosser als auf Tellerservice durch Kopfflansch Gleich grosse Offnung auf Sitzseite und Tellerservice durch Kopfflansch MONOVAT-Sitz innerhalb der Kammer Tellerservice durch Kammer

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Transferventil / -insert MONOVAT Technische Daten Dichtheit1) am Gehause und am Sitz in mbar Is-1 Maximalwerte: abhàngig von Einsatz- Um die Lebenszeit des Tellers zu maximieren solite der Betriebsdruck so tief wie möglich ge- halten werden, jedoch noch genug, um die erfor- derliche Dichtheit in geschlossener Ventilstellung sicherzustellen. Je nach Lange der Dichtlinie [Tellergrösse), Toleranzen der Dichtlippe, Mess- genauigkeit und erforderlicher Dichtheit können die Betriebsdruckeinstellungen etwas ausserhalb des angegebenen Druckbereichs liegen. - Metall blank oder vernickelt -Aluminium, hartanodisiert...

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- Weitere Öffnungsgrössen auf Anfrage, max. 56 x 700 mm - Dichtflâche oder Nut mit O-Ring - Dichtwerkstoffe (O-Ring): FKM, FFKM - Metallische Dichtung (für nichtrostenden Stahl) -Andere Dichtwerkstoffe auf Anfrage - Lochbild ausser- oder innerhalb der Dichtlinie - Zentrierstifte, Zentrierbohrungen - Aluminium: hartanodisiert oder nickelbeschichtet - Aluminium / nichtrostender Stahl: kugelpoliert - Dichtflâchen für metallische Flanschdichtung - Balgeinheit mit Kopfflansch verschweisst - Ventilgehâuse vorbereitet für: Flüssigkeitskühlung (nichtrost. Stahl) / Stickstoffspülung / Heizpatronen - Heizpatronen...

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Transferventil / -insert MONOVAT Abmessungen: Ventil Reihe 022

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Abmessungen: Insert Reihe 032

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Alle Kataloge und technischen Broschüren von VAT Vakuumventile AG

Verwandte Suchbegriffe

* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.

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