Die optische Messmaschine MS5 bietet durch sein modulares Gerätekonzept die Möglichkeit unterschiedlichste Messprobleme zu lösen. Technische Mikroskopie

Messtechnik nach Maß Durch sein modulares Grundkonzept kann das MS5 in seiner Ausstattung genau auf die Kundenanwendung abgestimmt werden. Reine Auflichtanwendungen, wie z. B. Topografiemessungen oder Messungen an Halbleiterbauteilen benötigen kein Durchlicht und keine offene Konstruktion des Messtisches. Bei diesen Anwendungen kommt unser geschlossener Kreuztisch GT9 zum Einsatz. Durch seine hohe Ablaufgenauigkeit und einen Verfahrweg von 350 x 350 mm eignet er sich besonders für Messungen auf 12“ Wafern - auch mit zwei Sensoren. Für die klassische optische Vermessung im Durchlicht wird der...