Gasverteilungssysteme | Chip-Tool-Support | Betriebsmittel zur Anlagenbetreuung Messlösungen für Halbleiter, Solar und Licht

WIKA in Kürze Familienunternehmen seit 1946 > 11.200 Mitarbeitende Globaler Service und Vertrieb 1,2 Mrd. Euro Umsatz Qualitätsmanagement: ISO 9001, ISO 13485 Die einzigartige Erfahrung und Kompetenz von WIKA machen Sensorik smarter, wertschöpfender und nachhaltig bereit für die Zukun

Prüfung, Verpackung und Erhaltung 6 Ultra High Purity Transducer 8 Überwachung von Abluft und Luftreinhaltung 14 Drucksensoren für allg. industrielle Anwendungen 14 CDA, Pneumatik und allgemeine Manometer 15 Die WIKA-Produktlinien der UHP-Manometer und Transducer bieten Kunden in der Halbleiter-, Photovoltaik- und Flachbildschirmindustrie ein umfassen-des Portfolio von Druckmesslösungen für Gasversorgungssystem und „On-Tool“-Gas-Panels der höchsten Reinheitsanforderungen. Ein Entwicklungsteam erarbeitet maßgeschneiderte Lösungen für kundenspezifische Anwendungen und Anforderungen. Umfassende...

WIKA-Produkte für den Bereich High Purity und Ultra High Purity entsprechen den strengen Normen und Empfehlungen der Halbleiterbranche und der zuständigen Aufsichtsbehörden. UHP-Rohrfedermanometer haben elektropolierte Innenflächen und sind die Standardmessgeräte in Gasverteilungssystemen in der Halbleiterproduktion. Die Baureihe der UHP-Rohrfedermanometer wird durch ein membranbasiertes UHP-Manometer ergänzt, das den kleinstmöglichen Totraum und die kürzesten Spülzeiten aufweist. UHP-Transducer von WIKA sind elektronische Geräte kleinster Baugröße, die höchste Anforderungen an den Explosionsschutz...

Messstoffberührte Oberflächen werden so konstruiert, dass sie den SEMI-Normen entsprechen und resistent gegenüber den entflammbaren, giftigen und korrosiven Gasen der Halbleiter sind. Während alle namhaften Hersteller den SEMI-Spezifikationen bei der Fertigung ihrer Produkte nachkommen, gehen WIKA-Produkte noch einen Schritt weiter und beziehen die individuellen technischen Anforderungen der Kunden in jede Ausführung mit ein. Mit einem Werkstoffangebot für messstoffberührte Oberflächen aus doppelt geschmolzenem CrNi-Stahl 316L oder proprietären VIM/VAR-Werkstoffen, macht die umfangreiche Konfigurierbarkeit...

PRÜFUNG, VERPACKUNG UND ERHALTUNG Um die hohen Anforderungen für Reinstmedien (High Purity / Ultra High Purity) der Halbleiterindustrie zu erfüllen, erfolgt die Reinigung, Verpackung und Erhaltung der UHP- und HPProdukte von WIKA nach SEMI-Spezifikationen. Alle UHPProdukte werden in einem Reinraum der Klasse ISO 6 oder höher einer 100 %-Heliumdichtheitsprüfung unterzogen, mit einer Leckagerate von 1 x 10-9 scc/sec. Um fortlaufend eine den SEMI-Normen entsprechende Qualität der UHP-Produkte und der Herstellprozesse sicherzustellen, beauftragt WIKA die RJ Lee Group, Inc. mit der regelmäßigen Durchführung...

Aufgrund der gestiegenen Anforderungen hinsichtlich Qualität und Produktsicherheit verfügt WIKA über eine breite Palette von Zulassungen und Zertifikaten, um die Erwartungen der Kunden und die gesetzlichen Bestimmungen einhalten zu können. Für Anwendungen im Ex-Bereich bietet WIKA eine Vielzahl von Zulassungen für Schlüsselstandorte in Asien, den USA und der EU

Die extrem kompakte Ausführung der Transducer der WUC-Baureihe erfüllt die Forderungen nach geringstmöglichem Platzbedarf. Durch die platzsparende Bauweise und umfassende Konfigurierbarkeit sind sie sowohl für Neu- als auch für Retrofit-Projekte geeignet. 30 ... 5.000 psi / 2 ... 360 bar (weitere Druckeinheiten erhältlich) Compound-, Absolut-, Relativdruck 4 ... 20 mA, DC 0 ... 5 V, DC 0 ... 10 V IP67 (NEMA 4) Echte Vakuumreferenz Die Baureihe WU-2 verbindet neueste Transducer-Konzepte mit analogen Ausgangssignalen, um sicherste und genaueste Druckmessungen zu gewährleisten und somit den heutigen...

Integrierte Anzeige Der WUD-2x-E bringt EtherCAT® auf die Transducer-Ebene und erlaubt es Kunden, mehr Daten zu erfassen, Verkabelungskosten zu reduzieren und die Tool-Zuverlässigkeit durch Nutzung der eingebauten Kabelredundanz zu erhöhen 30 ... 5.000 psi / 2 ... 360 bar (weitere Druckeinheiten erhältlich) Compound-, Absolut-, Relativdruck Manuelle oder elektronische Nullpunkteinstellung PE 87.12 Dank der mit „IN“ und „OUT“ gekennzeichneten Anschlüsse des WUD-2x-E kann er via Ringtopologie an das MainDevice angeschlossen werden. Dies, zusammen mit der Full-Duplex-Fähigkeit des Netzwerks ermöglicht...

230.15, 230.25 Das 230.15 ist die richtige Wahl für Spezialgase, UHP-, PV- und SEMIAnwendungen in Gasversorgungssystemen mit Face-Seal-Anschlüssen. Das 230.25 ist hingegen bestens geeignet für Anwendungen, die messstoffberührte Teile aus VIM/VAR-Werkstoffen und Face-Seal-Anschlüsse benötigen. Beide Produktvarianten bieten elektropolierte messstoffberührte CrNi-Stahl-Oberflächen sowie elektropolierte CrNi-Stahl-Gehäuse. Vakuum / Compound und positive Druckbereiche 2": Grade A nach ASME B40.1, 1%": Grade B nach ASME B40.1 Die Baureihen 230.15 und 230.25 werden durch einen optionalen Reed-Schalter...

Plattenfedermanometer sind die perfekten Manometer für Anwendungen mit niedrigen Drücken an der Verwendungsstelle. Die Konstruktion der Manometer erlaubt den Einsatz in potenziell korrosiven Gasen in Ätzanwendungen, reduziert die Erzeugung von Partikeln und verkürzt Trocknungszeiten. Empfindliche Anlagen wie z. B. Geräte-Hook-ups in Chip-Fabs erfordern einen speziellen Fokus auf die Partikelvermeidung. Die Verwendung eines Flow-Through-Gauges in einem Gasversorgungssystem verhindert jeglichen Totraum und verkürzt die Spülzeiten nach Einbau oder Wartung. Grade B nach ASME B40.1 (andere Genauigkeitsklassen...